Магнетронды шашыратқыш оптикалық желілік вакуумды жабын жүйелері жұқа қабықшаларды әртүрлі субстраттарға қою үшін қолданылатын озық технология болып табылады, олар оптика, электроника және материалтану сияқты салаларда жиі қолданылады. Төменде егжей-тегжейлі шолу берілген:
Құрамдас бөліктер мен мүмкіндіктер:
1. магнетронды шашыратқыш көзі:
Магнетрон жоғары тығыздықтағы плазманы алу үшін қолданылады.
Мақсатты материал (көз) иондармен бомбаланады, нәтижесінде атомдар шығарылады (шашыратылады) және субстратқа түседі.
Магнетронды шашыратқыш материалға байланысты тұрақты ток, импульстік тұрақты ток немесе RF (радио жиілік) жұмысы үшін жасауға болады.
2. In-line жүйесі:
Субстрат жабын камерасы арқылы үздіксіз немесе біртіндеп қозғалады.
Жоғары өнімділікті өндіруге және үлкен аумақтарды біркелкі жабуға мүмкіндік береді.
Әдетте орамнан орамға немесе пластинкаға арналған процестерде шыны, пластик немесе металл парақтарды жабу үшін қолданылады.
3. вакуумдық камера:
Шашыратуды жеңілдету үшін бақыланатын төмен қысымды ортаны сақтайды.
- Ластанудың алдын алады және тұндырылған пленкалардың жоғары тазалығын қамтамасыз етеді.
- Әдетте субстратты тиеу және түсіру кезінде атмосфералық жағдайлардың әсерін азайту үшін жүк құлыптарымен жабдықталған.
4. оптикалық жабу мүмкіндіктері:
- Шағылысқа қарсы жабындар, айналар, сүзгілер және сәуле бөлгіштер сияқты оптикалық жабындарды өндіру үшін арнайы әзірленген.
- Оптикалық қолданбалар үшін өте маңызды пленка қалыңдығы мен біркелкілігін дәл бақылауға мүмкіндік береді.
5. технологиялық процестерді басқару жүйелері:
- Қуат, қысым және субстрат жылдамдығы сияқты параметрлерді басқаруға арналған жетілдірілген бақылау және кері байланыс жүйелері.
- Сапа мен дәйектілікті қамтамасыз ету үшін тұндыру кезінде пленка қасиеттерін өлшеуге арналған жердегі диагностика.
Қолданбалар:
1. Оптика:
- Жұмысты жақсарту үшін линзаларды, айналарды және басқа оптикалық компоненттерді жабу.
- Кедергі сүзгілері мен басқа да күрделі оптикалық құрылғылар үшін көп қабатты жабындарды шығарады.
2. Электроника:
- жұқа қабықшалы транзисторлар, сенсорлар және басқа электрондық құрылғылар.
- дисплейлер мен сенсорлық экрандарға арналған мөлдір өткізгіш жабындар. 3.
3. күн панельдері:
- Тиімділікті арттыру үшін шағылысқан және өткізгіш жабындар.
- Төзімділік үшін инкапсуляцияланған қабаттар.
4. сәндік жабындар:
- эстетикалық мақсатта зергерлік бұйымдарды, сағаттарды және басқа заттарды жабу.
Артықшылықтары:
1. Жоғары дәлдік:
- Қалыңдығы мен құрамын дәл бақылай отырып, біркелкі және қайталанатын жабынды қамтамасыз етеді. 2.
2. Масштабтау:
- Шағын зерттеулер мен ірі өнеркәсіптік өндіріске қолайлы. 3.
3. Әмбебаптығы:
- Металдар, оксидтер, нитридтер және композиттік қосылыстарды қоса алғанда, материалдардың алуан түрін орналастырады.
4. Тиімділік:
- In-line жүйелер үздіксіз өңдеуге, тоқтау уақытын азайтуға және өткізу қабілеттілігін арттыруға мүмкіндік береді.
Жіберу уақыты: 29 маусым-2024 ж