მაგნეტრონული გაფრქვევის ოპტიკური ხაზოვანი ვაკუუმური საფარის სისტემები წარმოადგენს მოწინავე ტექნოლოგიას, რომელიც გამოიყენება თხელი ფირების სხვადასხვა სუბსტრატზე დასაფენად და ფართოდ გამოიყენება ისეთ ინდუსტრიებში, როგორიცაა ოპტიკა, ელექტრონიკა და მასალათმცოდნეობა. ქვემოთ მოცემულია დეტალური მიმოხილვა:
კომპონენტები და მახასიათებლები:
1. მაგნეტრონული გაფრქვევის წყარო:
მაგნეტრონი გამოიყენება მაღალი სიმკვრივის პლაზმის გენერირებისთვის.
სამიზნე მასალა (წყარო) იონებით იბომბება, რის შედეგადაც ატომები გამოიტყორცნება (იფრქვევა) და სუბსტრატზე ილექება.
მაგნეტრონი შეიძლება დაპროექტდეს მუდმივი დენის, იმპულსური მუდმივი დენის ან რადიოსიხშირული (RF) მუშაობისთვის, შესასხურებელი მასალის მიხედვით.
2. ხაზოვანი სისტემა:
სუბსტრატი უწყვეტად ან პროგრესულად გადაადგილდება საფარის კამერაში.
უზრუნველყოფს მაღალი გამტარუნარიანობის წარმოებას და დიდი ფართობების ერთგვაროვან დაფარვას.
როგორც წესი, გამოიყენება მინის, პლასტმასის ან ლითონის ფურცლების დასაფარად რულონური ან ბრტყელი პლატფორმის პროცესებში.
3. ვაკუუმური კამერა:
ინარჩუნებს კონტროლირებად დაბალი წნევის გარემოს შესხურების გასაადვილებლად.
- ხელს უშლის დაბინძურებას და უზრუნველყოფს დალექილი აპკების მაღალ სისუფთავეს.
- როგორც წესი, აღჭურვილია დატვირთვის საკეტებით, რათა მინიმუმამდე იქნას დაყვანილი ატმოსფერული პირობების ზემოქმედება სუბსტრატის ჩატვირთვისა და გადმოტვირთვის დროს.
4. ოპტიკური საფარის შესაძლებლობები:
- სპეციალურად შექმნილია ოპტიკური საფარების, როგორიცაა ანტირეფლექსური საფარები, სარკეები, ფილტრები და სხივის გამყოფები, წარმოებისთვის.
- საშუალებას იძლევა ფირის სისქისა და ერთგვაროვნების ზუსტი კონტროლისა, რაც კრიტიკულად მნიშვნელოვანია ოპტიკური აპლიკაციებისთვის.
5. პროცესის კონტროლის სისტემები:
- მოწინავე მონიტორინგისა და უკუკავშირის სისტემები ისეთი პარამეტრების კონტროლისთვის, როგორიცაა სიმძლავრე, წნევა და სუბსტრატის სიჩქარე.
- ხარისხისა და თანმიმდევრულობის უზრუნველსაყოფად, დალექვის დროს ფირის თვისებების ადგილზე დიაგნოსტიკა.
აპლიკაციები:
1. ოპტიკა:
- ლინზების, სარკეების და სხვა ოპტიკური კომპონენტების დაფარვა მუშაობის გასაუმჯობესებლად.
- აწარმოებს მრავალშრიან საფარებს ინტერფერენციული ფილტრებისა და სხვა რთული ოპტიკური მოწყობილობებისთვის.
2. ელექტრონიკა:
- თხელაფენიანი ტრანზისტორები, სენსორები და სხვა ელექტრონული მოწყობილობები.
- გამჭვირვალე გამტარი საფარი დისპლეებისა და სენსორული ეკრანებისთვის. 3.
3. მზის პანელები:
- ანტი-ამრეკლავი და გამტარი საფარი გაუმჯობესებული ეფექტურობისთვის.
- კაფსულირებული ფენები გამძლეობისთვის.
4. დეკორატიული საფარი:
- სამკაულების, საათების და სხვა ნივთების ესთეტიკური მიზნით დაფარვა.
უპირატესობები:
1. მაღალი სიზუსტე:
- უზრუნველყოფს ერთგვაროვან და განმეორებად საფარს სისქისა და შემადგენლობის ზუსტი კონტროლით. 2.
2. მასშტაბირება:
- შესაფერისია მცირე მასშტაბის კვლევისა და ფართომასშტაბიანი სამრეწველო წარმოებისთვის. 3.
3. მრავალფუნქციურობა:
- აფენს სხვადასხვა სახის მასალებს, მათ შორის ლითონებს, ოქსიდებს, ნიტრიდებს და კომპოზიტურ ნაერთებს.
4. ეფექტურობა:
- ხაზოვანი სისტემები უწყვეტი დამუშავების საშუალებას იძლევა, რაც ამცირებს შეფერხების დროს და ზრდის გამტარუნარიანობას.
გამოქვეყნების დრო: 2024 წლის 29 ივნისი
