蒸着コーティング装置は、基板表面に薄膜材料を堆積させる装置の一種であり、光学デバイス、電子デバイス、装飾コーティングなどの分野で広く使用されています。蒸着コーティングは主に高温を利用して固体材料を気体状態に変換し、真空環境下で基板上に堆積させます。蒸着コーティング装置の動作原理は次のとおりです。
真空環境:
蒸着コーティング装置の作業は、蒸着中に材料が空気中の酸素やその他の不純物と反応するのを防ぎ、蒸着されたフィルムの純度を確保するために、高真空環境で実行する必要があります。
真空チャンバーは、機械式ポンプや拡散ポンプなどの装置を通じて必要な真空レベルを実現します。
蒸発源:
蒸発源は、コーティング材料を加熱して蒸発させる装置です。一般的な蒸発源には、抵抗加熱源、電子ビーム蒸発源、レーザー蒸発源などがあります。
抵抗加熱: 抵抗線を通して材料を加熱し、蒸発させます。
電子ビーム蒸着：電子銃を使用して電子ビームを放射し、コーティングされた材料を直接加熱して蒸発させます。
レーザー蒸発: 高エネルギーレーザービームを材料に照射して急速に蒸発させます。
蒸発プロセス：
コーティングされた材料は、蒸発源の高温下で固体または液体の状態から気体の状態に変化し、蒸気を形成します。
これらの蒸気分子は真空環境内で自由に移動し、あらゆる方向に拡散します。
フィルム堆積：
蒸気分子は移動中に基板の冷却された表面に遭遇し、凝縮して堆積し、薄い膜を形成します。
フィルムの均一性と一貫性を確保するために、基板を回転させたり、蒸気環境に均一にさらしたりすることができます。
冷却と硬化：
堆積後、フィルムは基板表面で冷却され硬化し、特定の物理的および化学的特性を持つ薄膜層を形成します。
応用分野
光学コーティング: 反射防止フィルム、ミラー、フィルター、その他の光学部品の製造に使用されます。
電子機器：集積回路、半導体デバイス、ディスプレイデバイスなどの製造に使用されます。
装飾コーティング：装飾品、時計、宝石などの表面コーティングに使用され、美観と耐摩耗性を向上させます。
機能性コーティング：防錆、抗酸化、耐摩耗性などの特殊な機能を備えたフィルムを作成するために使用されます。
蒸着コーティング技術は、その高い純度、均一性、多機能性により、多くの高精度かつ高需要のアプリケーションで広く使用されています。
–この記事は真空コーティング機メーカー広東振華
投稿日時: 2024年7月23日