L'équipement de revêtement par évaporation est un type d'équipement utilisé pour déposer des couches minces de matériaux sur la surface d'un substrat. Il est largement utilisé dans les domaines des dispositifs optiques, des dispositifs électroniques, des revêtements décoratifs, etc. Le revêtement par évaporation repose principalement sur la conversion de matériaux solides à l'état gazeux à haute température, puis sur leur dépôt sur le substrat sous vide. Voici le principe de fonctionnement d'un équipement de revêtement par évaporation :
Environnement sous vide :
Le fonctionnement des équipements de revêtement par évaporation doit être réalisé dans un environnement sous vide poussé afin d'empêcher le matériau de réagir avec l'oxygène ou d'autres impuretés présentes dans l'air pendant l'évaporation et de garantir la pureté du film déposé.
La chambre à vide atteint le niveau de vide requis grâce à des équipements tels que des pompes mécaniques et des pompes à diffusion.
Source d'évaporation :
Une source d'évaporation est un dispositif utilisé pour chauffer et vaporiser le matériau de revêtement. Parmi les sources d'évaporation courantes, on trouve les sources de chauffage par résistance, les sources d'évaporation par faisceau d'électrons et les sources d'évaporation laser.
Chauffage par résistance : chauffage du matériau à travers un fil résistif pour l’évaporer.
Évaporisation par faisceau d'électrons : utilisation d'un canon à électrons pour émettre un faisceau d'électrons afin de chauffer directement le matériau revêtu et de le faire évaporer.
Évaporisation laser : irradier le matériau avec un faisceau laser de haute énergie pour le faire s’évaporer rapidement.
Processus d'évaporation :
Sous l'effet de la haute température de la source d'évaporation, le matériau revêtu passe de l'état solide ou liquide à l'état gazeux, formant ainsi de la vapeur.
Ces molécules de vapeur se déplacent librement dans un environnement sous vide et se diffusent dans toutes les directions.
Dépôt de film :
Les molécules de vapeur rencontrent la surface refroidie du substrat lorsqu'elles se déplacent, se condensent et se déposent pour former un film mince.
Le substrat peut être mis en rotation ou exposé de manière uniforme à l'environnement de vapeur afin de garantir l'uniformité et la constance du film.
Refroidissement et durcissement :
Après dépôt, le film refroidit et durcit sur la surface du substrat pour former une couche mince aux propriétés physiques et chimiques spécifiques.
Domaines d'application
Revêtement optique : utilisé pour fabriquer des films antireflets, des miroirs, des filtres et d’autres composants optiques.
Dispositifs électroniques : utilisés pour fabriquer des circuits intégrés, des dispositifs semi-conducteurs, des dispositifs d’affichage, etc.
Revêtements décoratifs : utilisés pour le revêtement de surface des décorations, montres, bijoux, etc. afin d’améliorer leur esthétique et leur résistance à l’usure.
Revêtements fonctionnels : utilisés pour fabriquer des films aux fonctions spécifiques telles que l’anticorrosion, l’antioxydation et la résistance à l’usure.
Grâce à sa grande pureté, son uniformité et sa multifonctionnalité, la technologie de revêtement par évaporation est largement utilisée dans de nombreuses applications de haute précision et à forte demande.
–Cet article est publié parfabrication de machines de revêtement sous videGuangdong Zhenhua
Date de publication : 23 juillet 2024