Таҷҳизоти рӯйпӯшкунии бухоршаванда як навъ таҷҳизотест, ки барои гузоштани маводҳои плёнкаи тунук дар сатҳи зеризаминӣ истифода мешавад ва дар соҳаҳои дастгоҳҳои оптикӣ, дастгоҳҳои электронӣ, рӯйпӯшҳои ороишӣ ва ғайра васеъ истифода мешавад. Рӯйпӯшкунии бухоршаванда асосан аз ҳарорати баланд барои табдил додани маводҳои сахт ба ҳолати газӣ ва сипас дар муҳити вакуумӣ ба зеризаминӣ истифода мебарад. Принсипи кори таҷҳизоти рӯйпӯшкунии бухоршаванда чунин аст:
Муҳити вакуумӣ:
Кори таҷҳизоти рӯйпӯшкунии бухоршаванда бояд дар муҳити вакуумии баланд анҷом дода шавад, то ки мавод ҳангоми бухоршавӣ бо оксиген ё дигар ифлосиҳо дар ҳаво реаксия накунад ва тозагии плёнкаи гузошташударо таъмин намояд.
Камераи вакуумӣ сатҳи зарурии вакуумро тавассути таҷҳизот ба монанди насосҳои механикӣ ва насосҳои диффузия ба даст меорад.
Манбаи бухоршавӣ:
Манбаи бухоршавӣ дастгоҳест, ки барои гарм кардан ва бухор кардани маводи рӯйпӯш истифода мешавад. Манбаъҳои маъмули бухоршавӣ манбаъҳои гармкунии муқовимат, манбаъҳои бухоршавии шуоъи электронӣ ва манбаъҳои бухоршавии лазерӣ мебошанд.
Гармидиҳии муқовиматӣ: гарм кардани мавод тавассути сими муқовиматӣ барои бухор кардани он.
Бухоршавӣ тавассути шуоъи электронӣ: бо истифода аз таппончаи электронӣ барои партофтани шуоъи электронӣ, ки маводи пӯшонидашударо мустақиман гарм мекунад ва онро бухор мекунад.
Бухоршавии лазерӣ: нурпошӣ кардани мавод бо нури лазерии энергияи баланд, то он зуд бухор шавад.
Раванди бухоршавӣ:
Маводи пӯшонидашуда дар ҳарорати баланди манбаи бухоршавӣ аз ҳолати сахт ё моеъ ба ҳолати газмонанд табдил меёбад ва дар натиҷа буғ ба вуҷуд меояд.
Ин молекулаҳои буғ дар муҳити вакуумӣ озодона ҳаракат мекунанд ва ба ҳама самтҳо паҳн мешаванд.
Намоиши филм:
Молекулаҳои буғ ҳангоми ҳаракат, конденсатсия ва таҳшиншавӣ бо сатҳи хунукшудаи субстрат дучор мешаванд, то як плёнкаи тунукро ташкил диҳанд.
Барои таъмини якрангӣ ва мувофиқати плёнка, субстратро метавон гардонд ё ба таври дигар ба муҳити буғ баробар дучор кард.
Хунуккунӣ ва хушккунӣ:
Пас аз таҳшиншавӣ, плёнка хунук мешавад ва дар сатҳи субстрат хушк мешавад, то як қабати тунуки плёнка бо хосиятҳои мушаххаси физикӣ ва химиявӣ ташкил ёбад.
Соҳаҳои татбиқ
Пӯшиши оптикӣ: Барои истеҳсоли плёнкаҳои зиддиинъикосӣ, оинаҳо, филтрҳо ва дигар ҷузъҳои оптикӣ истифода мешавад.
Дастгоҳҳои электронӣ: барои истеҳсоли схемаҳои интегралӣ, дастгоҳҳои нимноқилӣ, дастгоҳҳои намоишӣ ва ғайра истифода мешаванд.
Рӯйпӯшҳои ороишӣ: барои пӯшонидани сатҳи ороишҳо, соатҳо, ҷавоҳирот ва ғайра барои беҳтар кардани эстетика ва муқовимати фарсудашавии онҳо истифода мешаванд.
Пӯшишҳои функсионалӣ: барои сохтани плёнкаҳо бо вазифаҳои махсус ба монанди зидди зангзанӣ, зидди оксидшавӣ ва муқовимат ба фарсудашавӣ истифода мешаванд.
Бо покии баланд, якрангӣ ва бисёрфунксионалии худ, технологияи пӯшиши бухоршаванда дар бисёр барномаҳои дақиқ ва серталаб васеъ истифода шудааст.
- Ин мақола аз ҷониби нашр шудаастИстеҳсолкунандаи мошини пӯшонидани вакуумӣГуандун Чжэнхуа
Вақти нашр: 23 июли соли 2024