Peralatan salutan penyejatan adalah sejenis peralatan yang digunakan untuk memendapkan bahan filem nipis pada permukaan substrat, yang digunakan secara meluas dalam bidang peranti optik, peranti elektronik, salutan hiasan dan sebagainya. Salutan penyejatan terutamanya menggunakan suhu tinggi untuk menukar bahan pepejal kepada keadaan gas, dan kemudian memendapkan ke atas substrat di bawah persekitaran vakum. Berikut adalah prinsip kerja peralatan salutan penyejatan:
Persekitaran vakum:
Kerja-kerja peralatan salutan penyejatan perlu dijalankan dalam persekitaran vakum yang tinggi untuk mengelakkan bahan daripada bertindak balas dengan oksigen atau bendasing lain di udara semasa penyejatan dan untuk memastikan ketulenan filem yang termendap.
Ruang vakum mencapai tahap vakum yang diperlukan melalui peralatan seperti pam mekanikal dan pam resapan.
Sumber penyejatan:
Sumber penyejatan ialah peranti yang digunakan untuk memanaskan dan menyejatkan bahan salutan. Sumber penyejatan biasa termasuk sumber pemanasan rintangan, sumber penyejatan pancaran elektron dan sumber penyejatan laser.
Pemanasan rintangan: memanaskan bahan melalui dawai rintangan untuk menyejatkannya.
Penyejatan pancaran elektron: menggunakan pistol elektron untuk memancarkan pancaran elektron bagi memanaskan bahan bersalut secara langsung untuk menjadikannya tersejat.
Penyejatan laser: pancarkan pancaran laser bertenaga tinggi ke bahan untuk meruapkannya dengan cepat.
Proses penyejatan:
Bahan bersalut diubah daripada keadaan pepejal atau cecair kepada keadaan gas di bawah suhu tinggi sumber penyejatan, membentuk wap.
Molekul wap ini bergerak bebas dalam persekitaran vakum dan meresap ke semua arah.
Pemendapan filem:
Molekul wap bertemu dengan permukaan substrat yang telah disejukkan semasa ia bergerak, terkondensasi dan mendapan untuk membentuk filem nipis.
Substrat boleh diputar atau didedahkan secara seragam kepada persekitaran wap untuk memastikan keseragaman dan konsistensi filem.
Penyejukan dan Pengawetan:
Selepas pemendapan, filem tersebut menyejuk dan mengeras pada permukaan substrat untuk membentuk lapisan filem nipis dengan sifat fizikal dan kimia tertentu.
Bidang Aplikasi
Salutan Optik: Digunakan untuk membuat filem anti-pantulan, cermin, penapis dan komponen optik lain.
Peranti elektronik: digunakan untuk mengeluarkan litar bersepadu, peranti semikonduktor, peranti paparan, dll.
Salutan hiasan: digunakan untuk salutan permukaan hiasan, jam tangan, barang kemas, dan sebagainya untuk meningkatkan estetika dan rintangan haus.
Salutan berfungsi: digunakan untuk membuat filem dengan fungsi khas seperti anti-karat, anti-pengoksidaan dan rintangan haus.
Dengan ketulenan, keseragaman dan pelbagai fungsi yang tinggi, teknologi salutan penyejatan telah digunakan secara meluas dalam banyak aplikasi berketepatan tinggi dan permintaan tinggi.
–Artikel ini dikeluarkan olehmesin salutan vakum yang dikeluarkanGuangdong Zhenhua
Masa siaran: 23 Julai 2024