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열 증발 코팅 시스템 작동 원리

기사 출처: Zhenhua vacuum
읽은 횟수: 10
게시일: 2023년 7월 24일

증착 코팅 장비는 기판 표면에 박막 재료를 증착하는 데 사용되는 장비로, 광학 장치, 전자 장치, 장식 코팅 등 다양한 분야에서 널리 사용됩니다. 증착 코팅은 주로 고온을 이용하여 고체 물질을 기체 상태로 변환한 후 진공 환경에서 기판에 증착하는 방식입니다. 증착 코팅 장비의 작동 원리는 다음과 같습니다.

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진공 환경:
증착 코팅 장비는 증착 과정에서 재료가 공기 중의 산소나 기타 불순물과 반응하는 것을 방지하고 증착된 막의 순도를 보장하기 위해 고진공 환경에서 작동해야 합니다.
진공 챔버는 기계식 펌프 및 확산 펌프와 같은 장비를 통해 필요한 진공 수준을 달성합니다.
증발원:
증발 소스는 코팅 재료를 가열하여 증발시키는 데 사용되는 장치입니다. 일반적인 증발 소스에는 저항 가열 소스, 전자빔 증발 소스 및 레이저 증발 소스가 있습니다.
저항 가열: 저항선을 통해 물질을 가열하여 증발시키는 방식.
전자빔 증발법: 전자총을 사용하여 전자빔을 방출시켜 코팅된 재료를 직접 가열하여 증발시키는 방식입니다.
레이저 증발: 고에너지 레이저 빔을 재료에 조사하여 빠르게 증발시키는 방식입니다.
증발 과정:
코팅된 물질은 증발원의 고온 하에서 고체 또는 액체 상태에서 기체 상태로 변환되어 증기를 형성합니다.
이러한 증기 분자들은 진공 환경에서 자유롭게 움직이며 모든 방향으로 확산됩니다.
박막 증착:
증기 분자는 이동하면서 냉각된 기판 표면과 만나 응축되고 증착되어 얇은 막을 형성합니다.
기판을 회전시키거나 다른 방법으로 증기 환경에 균일하게 노출시켜 필름의 균일성과 일관성을 확보할 수 있습니다.
냉각 및 경화:
증착 후, 필름은 기판 표면에서 냉각 및 경화되어 특정한 물리적 및 화학적 특성을 지닌 박막층을 형성합니다.
적용 분야
광학 코팅: 반사 방지 필름, 거울, 필터 및 기타 광학 부품을 만드는 데 사용됩니다.
전자 장치: 집적 회로, 반도체 장치, 디스플레이 장치 등을 제조하는 데 사용됩니다.
장식 코팅: 장식품, 시계, 보석류 등의 표면 코팅에 사용되어 미관과 내마모성을 향상시킵니다.
기능성 코팅: 부식 방지, 산화 방지 및 내마모성과 같은 특수 기능을 가진 막을 만드는 데 사용됩니다.
높은 순도, 균일성 및 다기능성을 갖춘 증착 코팅 기술은 많은 고정밀 및 고난이도 응용 분야에 널리 사용되고 있습니다.

이 기사는 다음에서 발표했습니다.진공 코팅기 제조업체광둥진화


게시 시간: 2024년 7월 23일