Buxarlandırıcı örtük avadanlığı, optik cihazlar, elektron cihazlar, dekorativ örtüklər və s. sahələrdə geniş istifadə olunan substratın səthinə nazik təbəqə materiallarını yerləşdirmək üçün istifadə olunan bir növ avadanlıqdır. Buxarlandırıcı örtük əsasən bərk materialları qaz halına çevirmək üçün yüksək temperaturdan istifadə edir və sonra vakuum mühitində substrata yerləşdirilir. Buxarlandırıcı örtük avadanlığının iş prinsipi aşağıdakılardır:
Vakuum mühiti:
Buxarlanma zamanı materialın havadakı oksigen və ya digər çirklərlə reaksiyaya girməsinin qarşısını almaq və çökmüş təbəqənin saflığını təmin etmək üçün buxarlandırıcı örtük avadanlığının işi yüksək vakuum mühitində aparılmalıdır.
Vakuum kamerası mexaniki nasoslar və diffuziya nasosları kimi avadanlıqlar vasitəsilə tələb olunan vakuum səviyyəsinə çatır.
Buxarlanma mənbəyi:
Buxarlanma mənbəyi örtük materialını qızdırmaq və buxarlandırmaq üçün istifadə olunan bir cihazdır. Ümumi buxarlanma mənbələrinə müqavimət istilik mənbələri, elektron şüası buxarlanma mənbələri və lazer buxarlanma mənbələri daxildir.
Müqavimət qızdırılması: materialı buxarlandırmaq üçün müqavimət teli vasitəsilə qızdırılır.
Elektron şüasının buxarlanması: örtülmüş materialı birbaşa qızdırmaq və buxarlandıraraq onu qızdırmaq üçün elektron silahından istifadə etməklə elektron şüası yaymaq.
Lazer buxarlanması: materialı yüksək enerjili lazer şüası ilə şüalandırın ki, sürətlə buxarlansın.
Buxarlanma prosesi:
Buxarlanma mənbəyinin yüksək temperaturu altında örtülmüş material bərk və ya maye vəziyyətdən qaz halına çevrilir və buxar əmələ gətirir.
Bu buxar molekulları vakuum mühitində sərbəst hərəkət edir və bütün istiqamətlərdə yayılır.
Filmin çəkilişi:
Buxar molekulları hərəkət etdikcə, kondensasiya etdikdə və nazik bir təbəqə əmələ gətirmək üçün çökdükcə substratın soyudulmuş səthi ilə qarşılaşır.
Filmin vahidliyini və tutarlılığını təmin etmək üçün substrat fırlana və ya buxar mühitinə bərabər şəkildə məruz qala bilər.
Soyutma və Bərkitmə:
Çökdürüldükdən sonra, film soyuyur və substrat səthində quruyur və spesifik fiziki və kimyəvi xüsusiyyətlərə malik nazik bir təbəqə əmələ gətirir.
Tətbiq sahələri
Optik örtük: Əks etdirməyən filmlər, güzgülər, filtrlər və digər optik komponentlər hazırlamaq üçün istifadə olunur.
Elektron cihazlar: inteqral sxemlər, yarımkeçirici cihazlar, displey cihazları və s. istehsalında istifadə olunur.
Dekorativ örtüklər: bəzək əşyalarının, saatların, zərgərlik əşyalarının və s. estetikasını və aşınmaya davamlılığını artırmaq üçün səth örtüyü üçün istifadə olunur.
Funksional örtüklər: korroziyaya qarşı, oksidləşməyə qarşı və aşınmaya davamlılıq kimi xüsusi funksiyalara malik filmlər hazırlamaq üçün istifadə olunur.
Yüksək təmizliyi, vahidliyi və çoxfunksiyalılığı ilə buxarlandırıcı örtük texnologiyası bir çox yüksək dəqiqlikli və yüksək tələbatlı tətbiqlərdə geniş istifadə edilmişdir.
–Bu məqalə dərc olunubvakuum örtük maşını istehsalçısıGuangdong Zhenhua
Yazı vaxtı: 23 iyul 2024