Thiết bị phủ bay hơi là một loại thiết bị dùng để lắng đọng các vật liệu màng mỏng lên bề mặt chất nền, được sử dụng rộng rãi trong các lĩnh vực thiết bị quang học, thiết bị điện tử, lớp phủ trang trí, v.v. Phủ bay hơi chủ yếu sử dụng nhiệt độ cao để chuyển vật liệu rắn thành trạng thái khí, sau đó lắng đọng lên chất nền trong môi trường chân không. Sau đây là nguyên lý hoạt động của thiết bị phủ bay hơi:
Môi trường chân không:
Thiết bị phủ màng bay hơi cần hoạt động trong môi trường chân không cao để ngăn vật liệu phản ứng với oxy hoặc các tạp chất khác trong không khí trong quá trình bay hơi và đảm bảo độ tinh khiết của màng được lắng đọng.
Buồng chân không đạt được mức độ chân không cần thiết thông qua các thiết bị như bơm cơ học và bơm khuếch tán.
Nguồn bốc hơi:
Nguồn bay hơi là thiết bị được sử dụng để làm nóng và làm bay hơi vật liệu phủ. Các nguồn bay hơi phổ biến bao gồm nguồn gia nhiệt điện trở, nguồn bay hơi chùm electron và nguồn bay hơi laser.
Gia nhiệt bằng điện trở: làm nóng vật liệu thông qua dây điện trở để làm bay hơi vật liệu đó.
Phương pháp bay hơi bằng chùm electron: sử dụng súng bắn electron để phát ra chùm electron nhằm làm nóng trực tiếp vật liệu được phủ, khiến nó bay hơi.
Phương pháp bay hơi bằng laser: chiếu tia laser năng lượng cao vào vật liệu để làm cho nó bay hơi nhanh chóng.
Quá trình bay hơi:
Vật liệu được phủ sẽ chuyển từ trạng thái rắn hoặc lỏng sang trạng thái khí dưới nhiệt độ cao của nguồn bay hơi, tạo thành hơi nước.
Các phân tử hơi này chuyển động tự do trong môi trường chân không và khuếch tán theo mọi hướng.
Quá trình lắng đọng màng:
Các phân tử hơi nước khi di chuyển sẽ gặp bề mặt được làm lạnh của chất nền, ngưng tụ và lắng đọng để tạo thành một lớp màng mỏng.
Có thể xoay chất nền hoặc để chất nền tiếp xúc đồng đều với môi trường hơi nhằm đảm bảo tính đồng nhất và ổn định của màng phim.
Làm nguội và đóng rắn:
Sau quá trình lắng đọng, lớp màng nguội và đông cứng trên bề mặt chất nền để tạo thành một lớp màng mỏng với các đặc tính vật lý và hóa học cụ thể.
Các lĩnh vực ứng dụng
Lớp phủ quang học: Được sử dụng để chế tạo màng chống phản xạ, gương, bộ lọc và các thành phần quang học khác.
Thiết bị điện tử: được sử dụng để sản xuất mạch tích hợp, thiết bị bán dẫn, thiết bị hiển thị, v.v.
Lớp phủ trang trí: được sử dụng để phủ bề mặt các vật trang trí, đồng hồ, trang sức, v.v. nhằm cải thiện tính thẩm mỹ và khả năng chống mài mòn.
Lớp phủ chức năng: được sử dụng để tạo ra các lớp màng có chức năng đặc biệt như chống ăn mòn, chống oxy hóa và chống mài mòn.
Với độ tinh khiết cao, tính đồng nhất và đa chức năng, công nghệ phủ bay hơi đã được sử dụng rộng rãi trong nhiều ứng dụng đòi hỏi độ chính xác cao và yêu cầu khắt khe.
–Bài viết này được phát hành bởiSản xuất máy phủ chân khôngQuảng Đông Chấn Hoa
Thời gian đăng bài: 23/7/2024