Peralatan pelapisan evaporatif adalah jenis peralatan yang digunakan untuk mengendapkan material film tipis pada permukaan substrat, yang banyak digunakan di bidang perangkat optik, perangkat elektronik, pelapis dekoratif, dan sebagainya. Pelapisan evaporatif terutama memanfaatkan suhu tinggi untuk mengubah material padat menjadi keadaan gas, dan kemudian diendapkan ke substrat dalam lingkungan vakum. Berikut adalah prinsip kerja peralatan pelapisan evaporatif:
Lingkungan vakum:
Pengoperasian peralatan pelapisan evaporatif perlu dilakukan dalam lingkungan vakum tinggi untuk mencegah material bereaksi dengan oksigen atau pengotor lain di udara selama penguapan dan untuk memastikan kemurnian lapisan yang diendapkan.
Ruang vakum mencapai tingkat vakum yang dibutuhkan melalui peralatan seperti pompa mekanis dan pompa difusi.
Sumber penguapan:
Sumber penguapan adalah perangkat yang digunakan untuk memanaskan dan menguapkan bahan pelapis. Sumber penguapan umum meliputi sumber pemanas resistansi, sumber penguapan berkas elektron, dan sumber penguapan laser.
Pemanasan resistansi: memanaskan material melalui kawat resistansi untuk menguapkannya.
Penguapan berkas elektron: menggunakan pistol elektron untuk memancarkan berkas elektron guna memanaskan langsung material yang dilapisi sehingga menguap.
Penguapan laser: menyinari material dengan sinar laser berenergi tinggi agar menguap dengan cepat.
Proses penguapan:
Material yang dilapisi tersebut berubah dari keadaan padat atau cair menjadi keadaan gas di bawah suhu tinggi sumber penguapan, membentuk uap.
Molekul uap ini bergerak bebas dalam lingkungan vakum dan menyebar ke segala arah.
Pengambilan sampel film:
Molekul uap bertemu dengan permukaan substrat yang didinginkan saat bergerak, mengembun, dan mengendap membentuk lapisan tipis.
Substrat dapat diputar atau dipaparkan secara merata ke lingkungan uap untuk memastikan keseragaman dan konsistensi lapisan film.
Pendinginan dan Pengeringan:
Setelah pengendapan, lapisan film mendingin dan mengeras pada permukaan substrat untuk membentuk lapisan film tipis dengan sifat fisik dan kimia tertentu.
Bidang Aplikasi
Pelapisan Optik: Digunakan untuk membuat film anti-reflektif, cermin, filter, dan komponen optik lainnya.
Perangkat elektronik: digunakan untuk memproduksi sirkuit terpadu, perangkat semikonduktor, perangkat tampilan, dll.
Lapisan dekoratif: digunakan untuk melapisi permukaan dekorasi, jam tangan, perhiasan, dll. untuk meningkatkan nilai estetika dan ketahanan ausnya.
Lapisan fungsional: digunakan untuk membuat lapisan dengan fungsi khusus seperti anti-korosi, anti-oksidasi, dan tahan aus.
Dengan kemurnian, keseragaman, dan multifungsi yang tinggi, teknologi pelapisan evaporatif telah banyak digunakan dalam berbagai aplikasi presisi tinggi dan berpersyaratan tinggi.
–Artikel ini dirilis olehPabrikasi mesin pelapis vakumGuangdong Zhenhua
Waktu posting: 23 Juli 2024