Bugaryp örtük enjamy substratyň ýüzüne inçe plýonkaly materiallary goýmak üçin ulanylýan enjamlaryň bir görnüşi bolup, optiki enjamlar, elektron enjamlar, bezeg örtükleri we ş.m. ugurlarda giňden ulanylýar. Bugaryp örtük, esasan, gaty materiallary gaz ýagdaýyna geçirmek üçin ýokary temperaturany ulanýar we soňra wakuum gurşawynda substrata ýerleşdirilýär. Bugaryp örtük enjamlarynyň iş prinsipi aşakdaky ýaly:
Wakuum gurşawy:
Bugaryşdyryjy örtük enjamlarynyň işi bugaryş wagtynda materialyň howadaky kislorod ýa-da beýleki garyndylar bilen reaksiýa girmeginiň öňüni almak we çökdürilen plýonkanyň arassalygyny üpjün etmek üçin ýokary wakuum gurşawynda ýerine ýetirilmelidir.
Wakuum kamerasy zerur bolan wakuum derejesine mehaniki nasoslar we diffuziýa nasoslary ýaly enjamlar arkaly ýetýär.
Bugaryş çeşmesi:
Bugaryş çeşmesi örtük materialyny gyzdyrmak we bugartmak üçin ulanylýan enjamdyr. Umumy bugaryş çeşmelerine garşylykly gyzdyryş çeşmeleri, elektron şöhlesiniň bugaryş çeşmeleri we lazer bugaryş çeşmeleri girýär.
Garşylykly gyzdyrmak: materialy bugartmak üçin garşylyk simi arkaly gyzdyrmak.
Elektron şöhlesiniň bugarmagy: örtülen materialy gönüden-göni gyzdyrmak we ony bugartmak üçin elektron şöhlesini çykarmak üçin elektron tabanjasyny ulanmak.
Lazer buharlandyrmasy: materialy çalt buharlandyrmak üçin ýokary energiýaly lazer şöhlesi bilen şöhlelendiriň.
Bugaryş prosesi:
Örtülen material buharlanma çeşmesiniň ýokary temperaturasynda gaty ýa-da suwuk ýagdaýdan gaz görnüşine öwrülýär we bug emele getirýär.
Bu bug molekulalary wakuum gurşawynda erkin hereket edýär we ähli taraplara ýaýraýar.
Filmiň ýerleşdirilişi:
Bug molekulalary substratyň sowadylan ýüzüne düşüp, hereket edip, kondensasiýa bolup, inçe plýonka emele getirýär.
Plenkanyň deňligini we yzygiderliligini üpjün etmek üçin substrat aýlanyp ýa-da bug gurşawyna deň derejede täsir edilip bilner.
Sowatmak we gatadyş:
Çökdürilenden soň, plýonka sowadýar we substrat ýüzünde berkiýär we belli bir fiziki we himiki häsiýetlere eýe bolan inçe plýonka gatlagyny emele getirýär.
Ulanylyş ugurlary
Optiki örtük: Şöhle çykaryjy plýonkalary, aýnalary, süzgüçleri we beýleki optiki bölekleri ýasamak üçin ulanylýar.
Elektron enjamlar: integral mikroshemalary, ýarymgeçiriji enjamlary, displeý enjamlaryny we ş.m. öndürmek üçin ulanylýar.
Bezeg örtükleri: bezegleriň, sagatlaryň, şaý-sepleriň we ş.m. ýüzüni örtmek üçin olaryň estetikasyny we aşynma garşylygyny gowulandyrmak üçin ulanylýar.
Funksional örtükler: korroziýa garşy, oksidlenmä garşy we aşynma garşylyk ýaly ýörite funksiýalary bolan plýonkalary ýasamak üçin ulanylýar.
Ýokary arassalygy, birmeňzeşligi we köp funksiýalylygy bilen buglandyryjy örtük tehnologiýasy köp sanly ýokary takyklykly we ýokary isleg bildirilýän ulanylyşlarda giňden ulanylýar.
–Bu makala çap edildiwakuum örtük maşynyny öndürijiGuangdong Zhenhua
Ýerleşdirilen wagty: 2024-nji ýylyň 23-nji iýuly