Бууланткыч каптоочу жабдуу - бул жука пленкалуу материалдарды субстраттын бетине жайгаштыруу үчүн колдонулган жабдуунун бир түрү, ал оптикалык шаймандар, электрондук шаймандар, декоративдик каптоолор жана башкалар тармактарында кеңири колдонулат. Бууланткыч каптоо негизинен катуу материалдарды газ абалына айландыруу үчүн жогорку температураны колдонот, андан кийин вакуумдук чөйрөдө субстратка жайгаштырылат. Бууланткыч каптоочу жабдуунун иштөө принциби төмөнкүлөр:
Вакуумдук чөйрө:
Буулантуу учурунда материалдын абадагы кычкылтек же башка кошулмалар менен реакцияга киришине жол бербөө жана чөктүрүлгөн пленканын тазалыгын камсыз кылуу үчүн буулантуучу каптоочу жабдуулардын иши жогорку вакуумдук чөйрөдө жүргүзүлүшү керек.
Вакуум камерасы механикалык насостор жана диффузиялык насостор сыяктуу жабдуулар аркылуу керектүү вакуум деңгээлине жетет.
Буулануу булагы:
Буулануу булагы – бул каптоо материалын ысытуу жана бууландыруу үчүн колдонулган түзүлүш. Жалпы буулануу булактарына каршылык көрсөтүүчү жылытуу булактары, электрондук нурдун буулануу булактары жана лазердик буулануу булактары кирет.
Каршылык көрсөтүү менен жылытуу: материалды буулантуу үчүн каршылык көрсөтүүчү зым аркылуу жылытуу.
Электрондук нурдун буулануусу: капталган материалды түздөн-түз ысытуу жана буулантуу үчүн электрондук мылтык менен электрондук нурду чыгаруу.
Лазердик буулануу: материалды тез буулантуу үчүн жогорку энергиялуу лазер нуру менен нурландырыңыз.
Буулануу процесси:
Капталган материал буулануу булагынын жогорку температурасынын таасири астында катуу же суюк абалдан газ абалына айланат, бул буу пайда кылат.
Бул буу молекулалары вакуум чөйрөсүндө эркин кыймылдайт жана бардык багыттар боюнча таралат.
Тасмага тартуу:
Буу молекулалары субстраттын муздаган бетине тийип, алар кыймылдап, конденсацияланып, жука пленканы пайда кылат.
Плёнканын бирдейлигин жана ырааттуулугун камсыз кылуу үчүн субстрат айландырылышы же башка жол менен буу чөйрөсүнө бирдей дуушар болушу мүмкүн.
Муздатуу жана кургатуу:
Чөктүргөндөн кийин, пленка муздайт жана субстраттын бетинде кургайт, бул белгилүү бир физикалык жана химиялык касиеттерге ээ болгон жука пленка катмарын пайда кылат.
Колдонуу чөйрөлөрү
Оптикалык каптоо: Чагылдырбоочу пленкаларды, күзгүлөрдү, чыпкаларды жана башка оптикалык компоненттерди жасоодо колдонулат.
Электрондук түзүлүштөр: интегралдык микросхемаларды, жарым өткөргүч түзүлүштөрдү, дисплей түзүлүштөрүн ж.б. өндүрүү үчүн колдонулат.
Декоративдик каптоолор: кооздуктардын, сааттардын, зер буюмдарынын ж.б. эстетикасын жана эскирүүгө туруктуулугун жакшыртуу үчүн бетин каптоо үчүн колдонулат.
Функционалдык каптоолор: коррозияга каршы, кычкылданууга каршы жана эскирүүгө туруктуулук сыяктуу атайын функциялары бар пленкаларды жасоо үчүн колдонулат.
Жогорку тазалыгы, бир түрдүүлүгү жана көп функциялуулугу менен бууланткыч каптоо технологиясы көптөгөн жогорку тактыктагы жана жогорку суроо-талапка ээ колдонмолордо кеңири колдонулуп келет.
– Бул макала жарыяланганвакуумдук каптоо машинасын өндүрүүчүГуандун Чжэнхуа
Жарыяланган убактысы: 2024-жылдын 23-июлу