Ууршуулах бүрхүүлийн тоног төхөөрөмж нь нимгэн хальсан материалыг суурь материалын гадаргуу дээр түрхэхэд ашигладаг нэг төрлийн тоног төхөөрөмж бөгөөд оптик төхөөрөмж, электрон төхөөрөмж, гоёл чимэглэлийн бүрхүүл гэх мэт салбарт өргөн хэрэглэгддэг. Ууршуулах бүрхүүл нь ихэвчлэн өндөр температурыг ашиглан хатуу материалыг хийн төлөвт оруулж, дараа нь вакуум орчинд суурь материал дээр түрхдэг. Ууршуулах бүрхүүлийн төхөөрөмжийн ажиллах зарчим дараах байдалтай байна.
Вакуум орчин:
Ууршилтын явцад материал нь агаарт хүчилтөрөгч болон бусад хольцтой урвалд орохоос сэргийлж, хуримтлагдсан хальсны цэвэр байдлыг хангахын тулд ууршуулах бүрхүүлийн төхөөрөмжийн ажлыг өндөр вакуум орчинд гүйцэтгэх шаардлагатай.
Вакуум камер нь механик шахуурга болон диффузийн шахуурга зэрэг тоног төхөөрөмжөөр дамжуулан шаардлагатай вакуум түвшинд хүрдэг.
Ууршилтын эх үүсвэр:
Ууршилтын эх үүсвэр нь бүрэх материалыг халаах, ууршуулахад ашигладаг төхөөрөмж юм. Түгээмэл ууршилтын эх үүсвэрүүдэд эсэргүүцлийн халаалтын эх үүсвэр, электрон цацрагийн ууршилтын эх үүсвэр, лазерын ууршилтын эх үүсвэр орно.
Эсэргүүцлийн халаалт: материалыг эсэргүүцлийн утсаар халааж ууршуулах.
Электрон цацрагийн ууршилт: электрон буу ашиглан бүрсэн материалыг шууд халааж ууршуулахын тулд электрон цацраг ялгаруулдаг.
Лазерын ууршилт: материалыг хурдан ууршуулахын тулд өндөр энергитэй лазер туяагаар цацруулна.
Ууршилтын үйл явц:
Бүрсэн материал нь ууршуулах эх үүсвэрийн өндөр температурын нөлөөгөөр хатуу эсвэл шингэн төлөвөөс хийн төлөвт шилжиж, уур үүсгэдэг.
Эдгээр уурын молекулууд вакуум орчинд чөлөөтэй хөдөлж, бүх чиглэлд тархдаг.
Киноны зураг авалт:
Уурын молекулууд хөдөлж, конденсацлагдаж, нимгэн хальс үүсгэхийн тулд суурь материалын хөргөсөн гадаргуутай тулгардаг.
Киноны жигд байдал, тууштай байдлыг хангахын тулд суурийг эргүүлэх эсвэл уурын орчинд жигд байрлуулж болно.
Хөргөх ба хатаах:
Хадгалсны дараа хальс нь хөрч, суурийн гадаргуу дээр хатуурч, тодорхой физик болон химийн шинж чанартай нимгэн хальсан давхарга үүсгэдэг.
Хэрэглэх хүрээ
Оптик бүрхүүл: Гэрэл тусгалгүй хальс, толь, шүүлтүүр болон бусад оптик эд анги үйлдвэрлэхэд ашигладаг.
Цахим төхөөрөмжүүд: интеграл хэлхээ, хагас дамжуулагч төхөөрөмж, дэлгэцийн төхөөрөмж гэх мэтийг үйлдвэрлэхэд ашигладаг.
Чимэглэлийн бүрээс: чимэглэл, цаг, үнэт эдлэл гэх мэт зүйлсийн гоо зүй, элэгдэлд тэсвэртэй байдлыг сайжруулахын тулд гадаргууг бүрэхэд ашигладаг.
Функциональ бүрхүүл: зэврэлтээс хамгаалах, исэлдүүлэхээс хамгаалах, элэгдэлд тэсвэртэй зэрэг тусгай функцтэй хальс хийхэд ашигладаг.
Өндөр цэвэршилт, жигд байдал, олон үйлдэлт чанараараа ууршуулах бүрхүүлийн технологийг өндөр нарийвчлалтай, эрэлт хэрэгцээ ихтэй олон салбарт өргөн ашиглаж ирсэн.
-Энэ нийтлэлийг нийтэлсэнвакуум бүрэх машин үйлдвэрлэгчГуандун Жэнхуа
Нийтэлсэн цаг: 2024 оны 7-р сарын 23