תהליך אידוי בוואקום

תהליך שקיעת אדים בוואקום כולל בדרך כלל ניקוי פני השטח של המצע, הכנה לפני ציפוי, שקיעת אדים, טעינה, טיפול לאחר הציפוי, בדיקה ומוצרים מוגמרים.

(1) ניקוי פני השטח של המצע. קירות תא הוואקום, מסגרת המצע ושמנים אחרים, חלודה וחומר ציפוי שאריות מתאדים בקלות בוואקום, ומשפיעים ישירות על טוהר שכבת הסרט ועל כוח ההדבקה, ויש לנקות אותם לפני הציפוי.
(2) הכנה לפני הציפוי. ציפוי המצע וחומרי הציפוי בוואקום ריק לדרגת הוואקום המתאימה, לצורך טיפול מקדים. חימום המצע, המטרה היא להסיר לחות ולשפר את כוח ההדבקה של בסיס הממברנה. חימום המצע בוואקום גבוה יכול לספוג את הגז הספוח על פני המצע, ולאחר מכן לפלוט את הגז מתא הוואקום באמצעות משאבת הוואקום, דבר התורם לשיפור דרגת הוואקום של תא הציפוי, טוהר שכבת הסרט וכוח ההדבקה של בסיס הסרט. לאחר הגעה לדרגת ואקום מסוימת, מקור האידוי הראשון בעל הספק חשמל נמוך יותר, מחמם מראש את הסרט או ממיס מראש. על מנת למנוע אידוי של המצע, מכסים את מקור האידוי וחומר המקור במחסום, ולאחר מכן נכנסים להספק חשמל גבוה יותר, חומר הציפוי מחומם במהירות לטמפרטורת האידוי, מתאדים ולאחר מכן מסירים את המחסום.
(3) אידוי. בנוסף לשלב האידוי, לבחירת טמפרטורת המצע המתאימה, טמפרטורת אידוי חומר הציפוי מחוץ לשלב שקיעת לחץ האוויר היא גם פרמטר חשוב מאוד. לחץ הגז השקיעה, שהוא ואקום חדר הציפוי, קובע את טווח האידוי הממוצע החופשי של מולקולות גז הנעות בחלל האידוי ואת מרחק האידוי המסוים מתחת לאטומי האדים והגז השיורי ואת מספר ההתנגשויות בין אטומי האדים.
(4) פריקה. לאחר שהשכבה המלאה בעובי של הסרט עומדת בדרישות, יש לכסות את מקור האידוי במחסום ולהפסיק את החימום, אך לא להכניס את האוויר מיד. יש להמשיך לקרר את מקור האידוי בתנאי ואקום למשך זמן מה, כדי למנוע ציפוי, שאריות חומר ציפוי והתנגדות, מקור אידוי וכן הלאה להתחמצן, ולאחר מכן להפסיק את השאיבה, ולאחר מכן לנפח, לפתוח את תא הוואקום ולהוציא את המצע.

–מאמר זה פורסם על ידייצרן מכונות ציפוי ואקוםגואנגדונג ז'נהואה