Requisiti ambientali per le apparecchiature di rivestimento sotto vuoto

Daapparecchiature di rivestimento sotto vuotoPoiché funziona in condizioni di vuoto, l'apparecchiatura deve soddisfare i requisiti ambientali del vuoto. Gli standard di settore per vari tipi di apparecchiature di rivestimento sotto vuoto formulati nel mio Paese (incluse le condizioni tecniche generali per apparecchiature di rivestimento sotto vuoto, apparecchiature di rivestimento ionico sotto vuoto, apparecchiature di rivestimento a sputtering sotto vuoto e apparecchiature di rivestimento per evaporazione sotto vuoto) stabiliscono chiaramente i requisiti ambientali. Solo soddisfacendo i requisiti ambientali dell'apparecchiatura di rivestimento sotto vuoto, l'apparecchiatura può funzionare normalmente e, con il corretto processo di rivestimento, è possibile produrre prodotti di rivestimento qualificati.

I requisiti dell'ambiente sotto vuoto generalmente includono i requisiti dell'apparecchiatura da vuoto per l'ambiente circostante, come la temperatura del laboratorio (o dell'officina), il basso livello di umidità nell'aria e i requisiti di parti o superfici in stato di vuoto o sotto vuoto. Questi due aspetti sono strettamente correlati. La qualità dell'ambiente circostante influisce direttamente sul normale utilizzo dell'apparecchiatura da vuoto e la pulizia della camera da vuoto dell'apparecchiatura o dei componenti in essa caricati influisce direttamente sulle prestazioni dell'apparecchiatura. Se l'aria contiene molto vapore acqueo e polvere e la camera da vuoto non è stata pulita, è difficile raggiungere il grado di vuoto desiderato utilizzando una pompa meccanica a tenuta d'olio per pompare aria. Come tutti sappiamo, le pompe meccaniche a tenuta d'olio non sono adatte al pompaggio di gas corrosivi per i metalli, chimicamente reattivi con l'olio da vuoto e contenenti polvere particolata. Il vapore acqueo è un gas condensabile. Quando la pompa pompa una grande quantità di gas condensabile, l'inquinamento dell'olio della pompa sarà più grave. Di conseguenza, il vuoto limite della pompa diminuirà e le prestazioni di pompaggio della pompa saranno compromesse.

Le normali condizioni di lavoro delle apparecchiature di rivestimento sotto vuoto sono:

① Temperatura ambiente 10~30℃;

② L'umidità relativa non è superiore al 70%;

3. La temperatura di ingresso dell'acqua di raffreddamento non è superiore a 25°C;

④ Qualità dell'acqua di raffreddamento Acqua del rubinetto comunale o acqua di qualità equivalente;

⑤Tensione di alimentazione: 380 V, trifase 50 Hz o 220 V, monofase 50 Hz (a seconda delle esigenze degli apparecchi elettrici utilizzati), intervallo di fluttuazione della tensione 342~399 V o 198~231 V, intervallo di fluttuazione della frequenza 49~51 Hz;

⑥La pressione, la temperatura e il consumo devono essere indicati nel manuale di istruzioni del prodotto;

⑦ L'ambiente circostante l'apparecchiatura è pulito, l'aria è pulita e non devono essere presenti polvere o gas che potrebbero causare corrosione superficiale degli apparecchi elettrici e di altre parti metalliche o causare conduzione elettrica tra i metalli.

Inoltre, il laboratorio o l'officina in cui si trova l'apparecchiatura per il rivestimento sotto vuoto deve essere mantenuto pulito e igienico. Il pavimento deve essere in terrazzo o in legno verniciato, privo di polvere. Per evitare che il gas di scarico della pompa meccanica inquini l'ambiente del laboratorio, è possibile utilizzarlo attraverso la porta di scarico della pompa. Installare un tubo di scarico (in metallo, in gomma) sulla superficie per scaricare il gas all'esterno.