La caratterizzazione dei film sottili ottici include la caratterizzazione delle proprietà ottiche, dei parametri ottici e delle proprietà non ottiche. Le proprietà ottiche si riferiscono principalmente alla riflettanza spettrale, alla trasmittanza e alle perdite ottiche (perdite per assorbimento e perdita per riflessione) dei film sottili ottici. Trasmittanza e riflettanza sono le proprietà ottiche più basilari dei film sottili ottici, quindi il test di trasmittanza e riflettanza dei film sottili è la tecnica di prova di base per i film sottili ottici. I parametri ottici dei film sottili ottici includono l'indice di rifrazione, il coefficiente di assorbimento e lo spessore del film. A causa della deviazione stechiometrica nei componenti del materiale del film sottile ottico preparato con il processo effettivo, la struttura non è più omogenea e densa, ma sono presenti microstrutture e vari difetti, lo strato dielettrico del film non è più completamente trasparente e si verifica un debole assorbimento, mentre si verificano disuniformità spaziali e anisotropia di fase nell'indice di rifrazione del film, e il film non presenta più un'interfaccia infinita e liscia. Ancora più importante, nel processo di preparazione vero e proprio, i parametri di preparazione del film hanno un impatto significativo sui parametri ottici del film, quindi la conferma in tempo reale dei parametri ottici del film è estremamente critica. Inoltre, come dispositivo utilizzato nell'ambiente reale, oltre alle caratteristiche ottiche del dispositivo che devono soddisfare i requisiti, ci sono molte altre importanti caratteristiche non ottiche del film che ne influenzano l'utilizzo, come l'adesione, lo stress, la durezza e la rugosità superficiale, la capacità del film di resistere all'ambiente e così via. Pertanto, è fondamentale misurare con precisione tutti i vari parametri o caratteristiche che influenzano l'utilizzo dei dispositivi a film sottile.
La trasmittanza e la riflettanza dei film sottili vengono principalmente testate utilizzando analizzatori spettrali. Gli analizzatori spettrali per i test sui film ottici possono essere suddivisi in spettrofotometri UV-Vis, spettrofotometri a infrarossi e spettrometri a infrarossi di Fourier a seconda delle diverse bande di test. I primi due utilizzano il principio di analisi e il sistema di test della spettroscopia spettrale, i secondi si basano sul principio di analisi spettrale interferenziale. A causa delle diverse strutture geometriche e forme dei dispositivi a film sottile, sebbene tutte le misurazioni di trasmittanza e riflettanza, a seconda della forma, della precisione o dei requisiti di polarizzazione, possano richiedere metodi e tecniche di test diversi.
–Questo articolo è pubblicato daproduttore di macchine per rivestimento sotto vuotoGuangdongZhenhua
Data di pubblicazione: 03-11-2023