Segulspúttunarkerfi með ljósleiðara í línu eru háþróuð tækni sem notuð er til að setja þunnar filmur á fjölbreytt undirlag og eru almennt notuð í atvinnugreinum eins og ljósfræði, rafeindatækni og efnisfræði. Eftirfarandi er ítarleg yfirlitsgrein:
Íhlutir og eiginleikar:
1. Magnetron sputter uppspretta:
Segulmagnari er notaður til að framleiða plasma með mikilli þéttni.
Markefnið (uppsprettan) er sprengd með jónum, sem veldur því að atóm eru kastað út (spútrað) og sett á undirlagið.
Segulmagnaða tækið getur verið hannað fyrir jafnstraum, púlsað jafnstraum eða RF (útvarpsbylgjur), allt eftir því hvaða efni er verið að spútra.
2. Innbyggð kerfi:
Undirlagið er fært stöðugt eða smám saman í gegnum húðunarhólfið.
Leyfir mikla framleiðslugetu og jafna húðun á stórum svæðum.
Venjulega notað til að húða gler, plast eða málmplötur í rúllu-á-rúllu eða flatbed ferlum.
3. lofttæmishólf:
Viðheldur stýrðu lágþrýstingsumhverfi til að auðvelda spútrun.
- Kemur í veg fyrir mengun og tryggir mikla hreinleika filmu sem eru settar inn.
- Venjulega búin hleðslulásum til að lágmarka útsetningu fyrir andrúmsloftsaðstæðum við hleðslu og affermingu undirlags.
4. Geta til ljósfræðilegrar húðunar:
- Sérstaklega hannað til að framleiða ljósfræðilega húðun eins og endurskinsvörn, spegla, síur og geislaskiptira.
- Leyfir nákvæma stjórn á filmuþykkt og einsleitni, sem er mikilvægt fyrir sjóntækni.
5. ferlisstýringarkerfi:
- Ítarleg eftirlits- og endurgjöfarkerfi til að stjórna breytum eins og afli, þrýstingi og hraða undirlagsins.
- Greiningar á staðnum til að mæla eiginleika filmu við útfellingu til að tryggja gæði og samræmi.
Umsóknir:
1. Ljósfræði:
- Húðun linsa, spegla og annarra sjóntækja til að bæta afköst.
- Framleiðir marglaga húðun fyrir truflunarsíur og önnur flókin ljósleiðaratæki.
2. Rafmagnstæki:
- Þunnfilmutransistorar, skynjarar og önnur rafeindatæki.
- Gagnsæjar leiðandi húðanir fyrir skjái og snertiskjái. 3.
3. sólarplötur:
- Endurskinsvörn og leiðandi húðun fyrir aukna skilvirkni.
- Innhúðuð lög fyrir endingu.
4. skreytingarhúðun:
- Húðun skartgripa, úra og annarra hluta í fagurfræðilegum tilgangi.
Kostir:
1. Mikil nákvæmni:
- Gefur einsleita og endurtekna húðun með nákvæmri stjórn á þykkt og samsetningu. 2.
2. Stærðhæfni:
- Hentar fyrir rannsóknir í litlum mæli og iðnaðarframleiðslu í stórum stíl. 3.
3. Fjölhæfni:
- Setur út fjölbreytt efni, þar á meðal málma, oxíð, nítríð og samsett efnasambönd.
4. Skilvirkni:
- Innbyggð kerfi gera kleift að vinna stöðugt, draga úr niðurtíma og auka afköst.
Birtingartími: 29. júní 2024