Kedu ihe na-agbasa sistemu mkpuchi oghere oghere dị n'ahịrị

Magnetron sputtering optical in-line vacuum mkpuchi sistemu bụ teknụzụ dị elu nke a na-eji na-etinye ihe nkiri dị mkpa n'ụdị mkpụrụ dị iche iche, a na-ejikarị ya na ụlọ ọrụ dị ka ngwa anya, ngwa elektrọn na sayensị ihe. Nke a bụ nkọwa zuru ezu:

Ngwa na atụmatụ:
1. magnetron sputter isi iyi:
A na-eji magnetron mepụta plasma njupụta dị elu.
A na-eji ions juba ihe ezubere iche (isi iyi), nke na-eme ka a na-achụpụ atom (gbasa) ma tinye ya na mkpụrụ.
Enwere ike ịhazi magnetron maka ịrụ ọrụ DC, pulsed DC, ma ọ bụ RF (ugboro redio), dabere na ihe a na-efesa.
2. Sistemụ ntanetị:
A na-ebugharị mkpụrụ ahụ na-aga n'ihu ma ọ bụ na-aga n'ihu site na ụlọ mkpuchi.
Na-enye ohere mmepụta ihe dị elu na mkpuchi otu nke nnukwu ebe.
A na-ejikarị akwa mkpuchi enyo, rọba ma ọ bụ mpempe ọla n'ime mpịakọta mpịakọta ma ọ bụ usoro dị larịị.

3. oghere oghere:
Na-edobe gburugburu ebe nrụgide dị ala a na-achịkwa iji kwado sputtering.
- Na-egbochi mmetọ ma na-ahụ maka ịdị ọcha nke ihe nkiri echekwara.
- A na-enwekarị mkpọchi ibu iji belata ikpughe na ọnọdụ ikuku n'oge nbudata na nbudata mkpụrụ.

4. ike mkpuchi anya:
- Emebere ya nke ọma iji mepụta mkpuchi anya dị ka mkpuchi mgbochi ntụgharị, enyo, nzacha, na ndị na-ekesa beam.
- Na-enye ohere njikwa ziri ezi nke ọkpụrụkpụ ihe nkiri na ịdị n'otu, nke dị oke mkpa maka ngwa anya.

5. Usoro njikwa usoro:
- Nleba anya dị elu na sistemụ nzaghachi maka njikwa parampat dị ka ike, nrụgide na ọsọ mkpụrụ.
- Nchọpụta nyocha na saịtị maka ịlele akụrụngwa ihe nkiri n'oge nkwụnye ego iji hụ na ịdị mma na ịdị n'otu.
Ngwa:
1. Optics:
- mkpuchi mkpuchi anya anya m, enyo na ngwa anya ndị ọzọ iji melite arụmọrụ.
- Na-emepụta mkpuchi multilayer maka nzacha nnyonye anya na ngwaọrụ ndị ọzọ dị mgbagwoju anya.
2. Eletrọnịkị:
- transistor ihe nkiri dị mkpa, sensọ na ngwaọrụ eletrọnịkị ndị ọzọ.
- Mkpuchi conductive transperent maka ngosipụta na ihuenyo mmetụ. 3.
3. Igwe anyanwụ:
- Mkpuchi mgbochi na-atụgharị uche na nke na-eduzi maka arụmọrụ ka mma.
- Ihe mkpuchi mkpuchi maka ịdịte aka.
4. mkpuchi ihe ịchọ mma:
- mkpuchi ọla, elekere na ihe ndị ọzọ maka ebumnuche ịchọ mma.
Uru:
1. Oke nkenke:
- Na-enye ihe mkpuchi edo na nke a na-emegharị ugboro ugboro na njikwa zuru oke nke ọkpụrụkpụ na ihe mejupụtara. 2.
2. Mgbanwe:
- Kwesịrị ekwesị maka nyocha nke nta na nnukwu mmepụta mmepụta ihe. 3.
3. Ntughari:
- Na-etinye ihe dị iche iche, gụnyere ọla, oxides, nitrides na ogige ndị mejupụtara.
4. arụmọrụ:
- Usoro ntanetị na-enye ohere maka nhazi na-aga n'ihu, na-ebelata oge nkwụsị na ịba ụba.