Մագնետրոնային փոշիացման օպտիկական գծային վակուումային ծածկույթների համակարգերը առաջադեմ տեխնոլոգիա են, որոնք օգտագործվում են բարակ թաղանթներ տարբեր հիմքերի վրա նստեցնելու համար և լայնորեն կիրառվում են այնպիսի ոլորտներում, ինչպիսիք են օպտիկան, էլեկտրոնիկան և նյութագիտությունը: Ստորև ներկայացված է մանրամասն ակնարկ.
Բաղադրիչներ և առանձնահատկություններ.
1. մագնետրոնային փոշիացման աղբյուր՝
Բարձր խտության պլազմա ստանալու համար օգտագործվում է մագնետրոն։
Նպատակային նյութը (աղբյուրը) ռմբակոծվում է իոններով, ինչի արդյունքում ատոմները դուրս են նետվում (փոշիացվում) և նստեցվում հիմքի վրա։
Մագնետրոնը կարող է նախագծվել հաստատուն հոսանքի, իմպուլսային հաստատուն հոսանքի կամ ռադիոհաճախականության (RF) աշխատանքի համար՝ կախված փոշիացվող նյութից։
2. Գծային համակարգ։
Հիմքը անընդհատ կամ աստիճանաբար տեղափոխվում է ծածկույթի խցիկով։
Թույլ է տալիս բարձր արտադրողականություն և մեծ մակերեսների միատարր ծածկույթ։
Սովորաբար օգտագործվում է ապակե, պլաստմասե կամ մետաղական թիթեղները պատելու համար՝ գլանափաթեթային կամ հարթ մակերեսով գործընթացներում:
3. վակուումային խցիկ:
Պահպանում է վերահսկվող ցածր ճնշման միջավայր՝ ցողումը հեշտացնելու համար։
- Կանխում է աղտոտումը և ապահովում է նստվածքային թաղանթների բարձր մաքրությունը։
- Սովորաբար հագեցած է բեռնման կողպեքներով՝ հիմքի բեռնման և բեռնաթափման ընթացքում մթնոլորտային պայմանների ազդեցությունը նվազագույնի հասցնելու համար:
4. օպտիկական ծածկույթի հնարավորություններ՝
- Հատուկ նախագծված է օպտիկական ծածկույթներ, ինչպիսիք են հակաանդրադարձնող ծածկույթները, հայելիները, ֆիլտրերը և ճառագայթի բաժանիչները, արտադրելու համար։
- Թույլ է տալիս ճշգրիտ կառավարել թաղանթի հաստությունը և միատարրությունը, ինչը կարևոր է օպտիկական կիրառությունների համար։
5. գործընթացների կառավարման համակարգեր.
- Առաջադեմ մոնիթորինգի և հետադարձ կապի համակարգեր՝ հզորության, ճնշման և հիմքի արագության նման պարամետրերը կառավարելու համար։
- Տեղում ախտորոշում՝ թաղանթի հատկությունները չափելու համար նստեցման ընթացքում՝ որակը և հետևողականությունն ապահովելու համար։
Կիրառություններ՝
1. Օպտիկա:
- Արդյունավետությունը բարելավելու համար ոսպնյակների, հայելիների և այլ օպտիկական բաղադրիչների ծածկույթ։
- Արտադրում է բազմաշերտ ծածկույթներ ինտերֆերենցիալ ֆիլտրերի և այլ բարդ օպտիկական սարքերի համար։
2. Էլեկտրոնիկա:
- Բարակ թաղանթային տրանզիստորներ, սենսորներ և այլ էլեկտրոնային սարքեր։
- Թափանցիկ հաղորդիչ ծածկույթներ էկրանների և սենսորային էկրանների համար։ 3.
3. արևային վահանակներ:
- Հակաանդրադարձնող և հաղորդիչ ծածկույթներ՝ արդյունավետության բարձրացման համար։
- Ամրապսուլված շերտեր՝ ամրության համար։
4. դեկորատիվ ծածկույթներ:
- Զարդերի, ժամացույցների և այլ իրերի ծածկույթ գեղագիտական նպատակներով։
Առավելություններ՝
1. Բարձր ճշգրտություն:
- Ապահովում է միատարր և կրկնվող ծածկույթ՝ հաստության և կազմի ճշգրիտ կառավարմամբ։ 2.
2. Մասշտաբայնություն։
- Հարմար է փոքրածավալ հետազոտությունների և մեծածավալ արդյունաբերական արտադրության համար։ 3.
3. Բազմակողմանիություն:
- Նստեցնում է բազմազան նյութեր, այդ թվում՝ մետաղներ, օքսիդներ, նիտրիդներ և կոմպոզիտային միացություններ։
4. Արդյունավետություն:
- Հոսքային համակարգերը թույլ են տալիս շարունակական մշակում իրականացնել՝ կրճատելով անսարքության ժամանակը և մեծացնելով արտադրողականությունը։
Հրապարակման ժամանակը. Հունիս-29-2024
