A magnetronos porlasztásos optikai in-line vákuumos bevonórendszerek fejlett technológiát képviselnek, amellyel vékony filmeket lehet felvinni különféle hordozókra, és ezeket gyakran alkalmazzák olyan iparágakban, mint az optika, az elektronika és az anyagtudomány. Az alábbiakban részletes áttekintést talál:
Összetevők és jellemzők:
1. magnetron porlasztási forrás:
Nagy sűrűségű plazma előállításához magnetront használnak.
A célanyagot (forrást) ionokkal bombázzák, aminek következtében atomok kilökődnek (porlasztódnak) és lerakódnak az aljzatra.
A magnetron DC, impulzusos DC vagy RF (rádiófrekvenciás) működésre tervezhető, a porlasztandó anyagtól függően.
2. Sorba épített rendszer:
Az aljzatanyagot folyamatosan vagy fokozatosan mozgatják a bevonókamrán keresztül.
Lehetővé teszi a nagy áteresztőképességű termelést és a nagy területek egyenletes bevonását.
Általában üveg, műanyag vagy fémlemezek bevonására használják tekercseléses vagy síkágyas eljárásokban.
3. vákuumkamra:
Szabályozott, alacsony nyomású környezetet tart fenn a porlasztás elősegítése érdekében.
- Megakadályozza a szennyeződést és biztosítja a lerakódott filmek magas tisztaságát.
- Általában rakodónyílásokkal vannak felszerelve, hogy minimalizálják a légköri viszonyoknak való kitettséget az aljzat be- és kirakodása során.
4. optikai bevonatolási képességek:
- Kifejezetten optikai bevonatok, például tükröződésmentesítő bevonatok, tükrök, szűrők és nyalábosztók előállítására tervezték.
- Lehetővé teszi a film vastagságának és egyenletességének pontos szabályozását, ami kritikus fontosságú az optikai alkalmazásoknál.
5. folyamatirányító rendszerek:
- Fejlett felügyeleti és visszacsatoló rendszerek olyan paraméterek szabályozására, mint a teljesítmény, a nyomás és az aljzat sebessége.
- Helyszíni diagnosztika a film tulajdonságainak mérésére a lerakódás során a minőség és az állandóság biztosítása érdekében.
Alkalmazások:
1. Optika:
- Lencsék, tükrök és egyéb optikai alkatrészek bevonása a teljesítmény javítása érdekében.
- Többrétegű bevonatokat gyárt interferenciaszűrőkhöz és más összetett optikai eszközökhöz.
2. Elektronika:
- Vékonyrétegű tranzisztorok, érzékelők és egyéb elektronikus eszközök.
- Átlátszó vezetőképes bevonatok kijelzőkhöz és érintőképernyőkhöz. 3.
3. napelemek:
- Tükröződésgátló és vezetőképes bevonatok a jobb hatékonyság érdekében.
- Tartósság érdekében kapszulázott rétegek.
4. dekoratív bevonatok:
- Ékszerek, órák és egyéb tárgyak esztétikai célú bevonása.
Előnyök:
1. Nagy pontosság:
- Egyenletes és megismételhető bevonatot biztosít, a vastagság és az összetétel pontos szabályozásával. 2.
2. Skálázhatóság:
- Kisméretű kutatásra és nagyméretű ipari termelésre alkalmas. 3.
3. Sokoldalúság:
- Széleskörű anyaglerakódást biztosít, beleértve a fémeket, oxidokat, nitrideket és kompozit vegyületeket.
4. Hatékonyság:
- Az in-line rendszerek folyamatos feldolgozást tesznek lehetővé, csökkentve az állásidőt és növelve az áteresztőképességet.
Közzététel ideje: 2024. június 29.