Pwosesis depozisyon vapè vakyòm lan jeneralman gen ladan netwayaj sifas substrat la, preparasyon anvan kouch, depozisyon vapè, chaje, tretman apre kouch, tès, ak pwodwi fini.
(1) Netwayaj sifas substrat la. Mi chanm vakyòm nan, ankadreman substrat la ak lòt lwil sifas, rouye, materyèl plakaj ki rete yo fasil pou evapore nan yon vakyòm, sa ki afekte dirèkteman pite kouch fim nan ak fòs lyezon an, kidonk yo dwe netwaye yo anvan plakaj la.
(2) Preparasyon anvan kouch la. Vide kouch la nan yon vakyòm vid jiska yon degre vakyòm ki apwopriye, epi trete substrat la ak materyèl kouch la anvan. Chofe substrat la pou retire imidite epi amelyore fòs lyezon baz manbràn lan. Chofe substrat la anba yon gwo vakyòm ka retire gaz ki te absòbe sou sifas substrat la, epi ponp vakyòm nan retire gaz la nan chanm vakyòm nan, sa ki amelyore degre vakyòm chanm kouch la, pite kouch fim nan ak fòs lyezon baz fim nan. Apre yon sèten degre vakyòm rive, premye sous evaporasyon an ak yon puisans elektrisite ki pi ba, fim nan prechofe oswa prefonn. Pou anpeche evaporasyon nan substrat la, kouvri sous evaporasyon an ak materyèl sous la ak yon deflektè, epi antre yon puisans elektrisite ki pi wo, materyèl kouch la chofe rapidman jiska tanperati evaporasyon an, evaporasyon an epi retire deflektè a.
(3) Evaporasyon. Anplis etap evaporasyon an pou chwazi tanperati substrat ki apwopriye a, tanperati evaporasyon materyèl plak la deyò presyon lè a se yon paramèt ki trè enpòtan tou. Presyon gaz depozisyon an, ki se vakyòm chanm kouch la, detèmine distans mwayèn molekil gaz k ap deplase nan espas evaporasyon an ak yon sèten distans evaporasyon anba vapè ak atòm gaz rezidyèl yo, ansanm ak kantite kolizyon ant atòm vapè yo.
(4) Dechaje. Apre epesè kouch fim nan satisfè egzijans yo, kouvri sous evaporasyon an ak yon deflektè epi sispann chofaj la, men pa imedyatman gide lè a, bezwen kontinye refwadi anba kondisyon vakyòm pou yon peryòd tan pou refwadi li, pou anpeche plakaj, materyèl plakaj rezidyèl ak rezistans, sous evaporasyon ak sou sa okside, epi sispann ponpe, epi gonfle, ouvri chanm vakyòm nan pou retire substra a.
–Atik sa a pibliye pamanifakti machin kouch vakyòmGuangdong Zhenhua
Dat piblikasyon: 27 septanm 2024