मैग्नेट्रॉन स्पटरिंग ऑप्टिकल इन-लाइन वैक्यूम कोटिंग सिस्टम एक उन्नत तकनीक है जिसका उपयोग विभिन्न प्रकार के सब्सट्रेट पर पतली फिल्मों को जमा करने के लिए किया जाता है, इनका उपयोग आमतौर पर ऑप्टिक्स, इलेक्ट्रॉनिक्स और मैटेरियल साइंस जैसे उद्योगों में किया जाता है। निम्नलिखित एक विस्तृत अवलोकन है:
घटक एवं विशेषताएं:
1. मैग्नेट्रॉन स्पटर स्रोत:
उच्च घनत्व प्लाज़्मा उत्पन्न करने के लिए मैग्नेट्रॉन का उपयोग किया जाता है।
लक्ष्य पदार्थ (स्रोत) पर आयनों की बमबारी की जाती है, जिसके परिणामस्वरूप परमाणु बाहर निकल जाते हैं (फट जाते हैं) और सब्सट्रेट पर जमा हो जाते हैं।
मैग्नेट्रॉन को डीसी, स्पंदित डीसी, या आरएफ (रेडियो आवृत्ति) संचालन के लिए डिज़ाइन किया जा सकता है, जो स्पटर की जाने वाली सामग्री पर निर्भर करता है।
2. इन-लाइन प्रणाली:
सब्सट्रेट को कोटिंग कक्ष के माध्यम से लगातार या उत्तरोत्तर स्थानांतरित किया जाता है।
उच्च थ्रूपुट उत्पादन और बड़े क्षेत्रों की एक समान कोटिंग की अनुमति देता है।
आमतौर पर रोल-टू-रोल या फ्लैटबेड प्रक्रियाओं में कांच, प्लास्टिक या धातु शीट को कोट करने के लिए उपयोग किया जाता है।
3. निर्वात कक्ष:
स्पटरिंग को सुविधाजनक बनाने के लिए नियंत्रित निम्न दबाव वातावरण बनाए रखता है।
- संदूषण को रोकता है और जमा फिल्मों की उच्च शुद्धता सुनिश्चित करता है।
- आमतौर पर सब्सट्रेट लोडिंग और अनलोडिंग के दौरान वायुमंडलीय स्थितियों के संपर्क को कम करने के लिए लोड लॉक से लैस होते हैं।
4. ऑप्टिकल कोटिंग क्षमताएं:
- विशेष रूप से ऑप्टिकल कोटिंग्स जैसे कि एंटी-रिफ्लेक्टिव कोटिंग्स, दर्पण, फिल्टर और बीम स्प्लिटर्स का उत्पादन करने के लिए डिज़ाइन किया गया।
- फिल्म की मोटाई और एकरूपता पर सटीक नियंत्रण की अनुमति देता है, जो ऑप्टिकल अनुप्रयोगों के लिए महत्वपूर्ण है।
5. प्रक्रिया नियंत्रण प्रणाली:
- शक्ति, दबाव और सब्सट्रेट गति जैसे मापदंडों को नियंत्रित करने के लिए उन्नत निगरानी और प्रतिक्रिया प्रणाली।
- गुणवत्ता और स्थिरता सुनिश्चित करने के लिए जमाव के दौरान फिल्म के गुणों को मापने के लिए ऑन-साइट डायग्नोस्टिक्स।
अनुप्रयोग:
1. प्रकाशिकी:
- प्रदर्शन में सुधार के लिए लेंस, दर्पण और अन्य ऑप्टिकल घटकों पर कोटिंग करना।
- हस्तक्षेप फिल्टर और अन्य जटिल ऑप्टिकल उपकरणों के लिए बहुपरत कोटिंग्स का उत्पादन करता है।
2. इलेक्ट्रॉनिक्स:
- पतली फिल्म ट्रांजिस्टर, सेंसर और अन्य इलेक्ट्रॉनिक उपकरण।
- डिस्प्ले और टच स्क्रीन के लिए पारदर्शी प्रवाहकीय कोटिंग्स। 3.
3. सौर पैनल:
- बेहतर दक्षता के लिए एंटी-रिफ्लेक्टिव और कंडक्टिव कोटिंग्स।
- स्थायित्व के लिए संपुटित परतें।
4. सजावटी कोटिंग्स:
- सौंदर्य प्रयोजनों के लिए आभूषणों, घड़ियों और अन्य वस्तुओं पर कोटिंग करना।
लाभ:
1. उच्च परिशुद्धता:
- मोटाई और संरचना के सटीक नियंत्रण के साथ एक समान और दोहराने योग्य कोटिंग प्रदान करता है। 2.
2. मापनीयता:
- लघु-स्तरीय अनुसंधान और बड़े पैमाने पर औद्योगिक उत्पादन के लिए उपयुक्त। 3.
3. बहुमुखी प्रतिभा:
- धातुओं, ऑक्साइडों, नाइट्राइडों और मिश्रित यौगिकों सहित विविध प्रकार की सामग्रियों का निक्षेपण करता है।
4. दक्षता:
- इन-लाइन प्रणालियां निरंतर प्रसंस्करण की अनुमति देती हैं, डाउनटाइम को कम करती हैं और थ्रूपुट को बढ़ाती हैं।
पोस्ट करने का समय: जून-29-2024
