A caracterización da película óptica fina inclúe a caracterización das propiedades ópticas, os parámetros ópticos e as propiedades non ópticas. As propiedades ópticas refírense principalmente ás propiedades de reflectancia espectral, transmitancia e perda óptica (perda de absorción e perda de reflexión) da película óptica fina. A transmitancia e a reflectancia son as propiedades ópticas máis básicas das películas ópticas finas, polo que as probas de transmitancia e reflectancia da película fina son a técnica de proba básica para as películas ópticas finas. Os parámetros ópticos da película óptica fina inclúen o índice de refracción, o coeficiente de absorción e o grosor da película. Debido á desviación estequiométrica nos compoñentes materiais da película óptica fina preparada polo proceso real, a estrutura xa non é homoxénea e densa, pero hai microestruturas e varios defectos, a capa de película dieléctrica xa non é completamente transparente e hai unha absorción débil, mentres que hai non uniformidade espacial e anisotropía de fase no índice de refracción da película, e a película xa non é unha interface infinita e suave. Máis importante aínda, no proceso de preparación real, os parámetros do proceso de preparación da película teñen un grande impacto nos parámetros ópticos da película, polo que a confirmación en tempo real dos parámetros ópticos da película é moi crítica. Ademais, a película fina óptica como dispositivo utilizado no ambiente real, ademais das características ópticas do dispositivo que debe cumprir os requisitos, hai moitas outras características non ópticas importantes da película que afectan o uso da película, como a adhesión da película, a tensión da película, a dureza e a rugosidade da película e a capacidade da película para soportar o ambiente, etc. Polo tanto, é importante medir con precisión todos os diversos parámetros ou características que afectan o uso de dispositivos de película fina.
A transmitancia e a reflectancia das películas delgadas compróbanse principalmente mediante analizadores de probas espectrais. Os analizadores espectrais para probas de películas ópticas pódense dividir en espectrofotómetros UV-Vis, espectrofotómetros infravermellos e espectrómetros infravermellos de Fourier segundo as diferentes bandas de proba. Os dous primeiros usan o principio de análise e o sistema de probas de espectroscopia espectral, mentres que os segundos baséanse no principio do sistema de análise espectral de interferencia. Debido ás diferentes estruturas xeométricas e formas dos dispositivos de película delgada, aínda que todas as medicións de transmitancia e reflectancia, para diferentes formas, diferentes precisións ou diferentes requisitos de polarización, poden requirir diferentes métodos e técnicas de proba.
–Este artigo foi publicado porfabricante de máquinas de revestimento ao baleiroGuangdong Zhenhua
Data de publicación: 03 de novembro de 2023