’S e CVD filament teth an dòigh as tràithe agus as mòr-chòrdte airson daoimean fhàs aig cuideam ìosal. Ann an 1982, theasachadh Matsumoto et al. filament meatailt teasfhulangach gu còrr air 2000°C, agus aig an teòthachd sin bidh an gas H2 a’ dol tron filament gu furasta a’ dèanamh dadaman haidridein. Mheudaich cinneasachadh haidridein atamach rè pyrolysis haidreacarbon an ìre tasgadh de fhilmichean daoimean. Tha daoimean air a thasgadh gu roghnach agus tha cruthachadh grafait air a bhacadh, agus mar thoradh air sin tha ìrean tasgadh film daoimean timcheall air mm/h, a tha na ìre tasgadh glè àrd airson na dòighean a thathas a’ cleachdadh gu cumanta ann an gnìomhachas. Faodar HFCVD a dhèanamh a’ cleachdadh measgachadh de stòran gualain, leithid meatan, propane, acetylene, agus haidreacarbonan eile, agus eadhon cuid de haidreacarbonan anns a bheil ocsaidean, leithid acetone, ethanol, agus methanol. Bidh cur bhuidhnean anns a bheil ocsaidean a’ leudachadh an raon teòthachd airson tasgadh daoimean.
A bharrachd air an t-siostam HFCVD àbhaisteach, tha grunn atharrachaidhean ann air an t-siostam HFCVD. Is e an siostam as cumanta siostam plasma DC agus HFCVD còmhla. Anns an t-siostam seo, faodar bholtaids claonaidh a chuir air an t-substrate agus an t-filament. Bidh claonadh deimhinneach seasmhach air an t-substrate agus claonadh àicheil sònraichte air an filament ag adhbhrachadh gum bi dealanan a’ bomadh an t-substrate, a’ leigeil le haidridean uachdar dì-sorbadh. Is e toradh an dì-sorbadh àrdachadh ann an ìre tasgadh film an daoimean (mu 10 mm / h), dòigh-obrach ris an canar HFCVD le taic dealanach. Nuair a tha am bholtaids claonaidh àrd gu leòr airson sgaoileadh plasma seasmhach a chruthachadh, bidh lobhadh H2 agus hydrocarbons ag àrdachadh gu mòr, a tha mu dheireadh a’ leantainn gu àrdachadh ann an ìre fàis. Nuair a thèid polarity a’ chlaonaidh a thionndadh air ais (tha claonadh àicheil air an t-substrate), bidh bomadh ian a’ tachairt air an t-substrate, ag adhbhrachadh àrdachadh ann an niùclasachadh daoimean air substrates nach eil nan daoimean. Is e atharrachadh eile a th’ ann a bhith a’ cur grunn shìolaimintean eadar-dhealaichte an àite aon shìolaimint teth gus tasgadh cunbhalach agus mu dheireadh raon mòr de fhilm daoimean a choileanadh. Is e ana-cothrom HFCVD gum faod falmhachadh teirmeach an t-sìolaimint truailleadh a chruthachadh anns an fhilm daoimean.
(2) CVD Plasma Miona-thonn (MWCVD)
Anns na 1970an, fhuair luchd-saidheans a-mach gum b’ urrainnear dùmhlachd haidridean atamach a mheudachadh le bhith a’ cleachdadh plasma DC. Mar thoradh air an sin, thàinig plasma gu bhith na dhòigh eile air cruthachadh fhilmichean daoimean a bhrosnachadh le bhith a’ lobhadh H2 gu haidridean atamach agus a’ gnìomhachadh bhuidhnean atamach stèidhichte air carbon. A bharrachd air plasma DC, tha dà sheòrsa eile de plasma air aire fhaighinn cuideachd. Tha tricead brosnachaidh de 2.45 GHZ aig CVD plasma meanbh-thonn, agus tha tricead brosnachaidh de 13.56 MHz aig CVD plasma RF. Tha plasman meanbh-thonn gun samhail leis gu bheil tricead meanbh-thonn ag adhbhrachadh crithidhean electron. Nuair a bhios electronan a’ bualadh ri dadaman no moileciuilean gas, thèid ìre àrd dealachaidh a thoirt gu buil. Thathas gu tric a’ toirt iomradh air plasma meanbh-thonn mar chùis le electronan “teth”, ianan “fuar” agus mìrean neodrach. Rè tasgadh film tana, bidh meanbh-thonn a’ dol a-steach don t-seòmar co-chur CVD leasaichte le plasma tro uinneag. Mar as trice tha cumadh cruinn air a’ phlasma lonrachail, agus bidh meud na cruinne ag àrdachadh le cumhachd meanbh-thonn. Bidh filmichean tana daoimean air am fhàs air fo-strat ann an oisean den roinn shoilleir, agus chan fheum an t-fho-strat a bhith ann an conaltradh dìreach ris an roinn shoilleir.
–Tha an t-artaigil seo air fhoillseachadh leneach-dèanamh inneal còmhdach falamhGuangdong Zhenhua
Àm puist: Ògmhios-19-2024