Go ginearálta, áirítear leis an bpróiseas taiscthe gaile i bhfolús glanadh dhromchla an tsubstráit, ullmhú roimh sciath, taiscthe gaile, luchtú, cóireáil tar éis sciath, tástáil, agus táirgí críochnaithe.
(1) Glanadh dhromchla an tsubstráit. Is furasta ballaí an tseomra folúis, fráma an tsubstráit agus ola dhromchla eile, meirge, agus ábhar plátála atá fágtha a ghalú i bhfolús, rud a théann i bhfeidhm go díreach ar íonacht an tsraith scannáin agus ar an bhfórsa nasctha, agus ní mór iad a ghlanadh roimh an bplátáil.
(2) Ullmhúchán roimh sciath. Trí sciath folamh a chur ar an tsubstráit agus ar na hábhair sciath le haghaidh réamhchóireála, déantar an tsubstráit agus na hábhair sciath a théamh faoi fholús ard, agus is é an cuspóir atá leis ná taise a bhaint agus fórsa nasctha bhunús an scannáin a fheabhsú. Is féidir leis an tsubstráit a théamh faoi fholús ard an gás atá ionsúite ar dhromchla an tsubstráit a dhí-ionsú, agus ansin an gás a sceitheadh amach as an seomra folúis ag an gcaidéal folúis, rud a chuidíonn le céim folúis an tseomra sciath, íonacht an tsraith scannáin agus fórsa nasctha bhunús an scannáin a fheabhsú. Tar éis céim folúis áirithe a bhaint amach, déantar an chéad fhoinse galúcháin a réamhthéamh nó a réamhleá. Chun galú isteach sa tsubstráit a chosc, clúdaítear an fhoinse galúcháin agus an t-ábhar foinse le bac, agus ansin cuirtear isteach cumhacht leictreachais níos airde é, téitear an t-ábhar sciath go tapa go dtí an teocht galúcháin, agus ansin baintear an bac trí ghalú.
(3) Galú. Chomh maith leis an gcéim galúcháin chun an teocht tsubstráit chuí a roghnú, is paraiméadar an-tábhachtach freisin teocht galúcháin an ábhair phlátála lasmuigh den taisciú brú aeir. Cinneann brú an gháis taiscthe, is é sin folús an tseomra sciath, meánraon saor na móilíní gáis ag gluaiseacht sa spás galúcháin agus achar galúcháin áirithe faoi na hadaimh gaile agus gáis iarmharaigh agus líon na n-imbhuailtí idir na hadaimh gaile.
(4) Díluchtú. Tar éis tiús an tsraith scannáin a chomhlíonadh chun na ceanglais a chomhlíonadh, clúdaigh an fhoinse galúcháin le bac agus stop an téamh, ach ná cuir an t-aer isteach láithreach, an gá leanúint ar aghaidh ag fuarú faoi choinníollacha folúis ar feadh tréimhse ama chun go bhfuaróidh sé síos, chun cosc a chur ar phlátáil, ar ábhar plátála atá fágtha agus ar fhriotaíocht, ar fhoinse galúcháin agus ar ocsaídiú, agus ansin stop a chur leis an bpumpáil, agus ansin an t-aer a bhogadh, agus an seomra folúis a oscailt chun an tsubstráit a bhaint amach.
–Tá an t-alt seo eisithe agmonaróir meaisín sciath folúisGuangdong Zhenhua
Am an phoist: 27 Meán Fómhair 2024