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Caractéristiques de la modification de surface du plasma

Source de l'article : Zhenhua Vacuum
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Publié le 23-06-07

Le plasma à haute énergie peut bombarder et irradier les matériaux polymères, brisant ainsi leurs chaînes moléculaires, formant des groupes actifs, augmentant l'énergie de surface et générant une attaque chimique. Le traitement de surface au plasma n'affecte pas la structure interne ni les performances du matériau, mais modifie seulement significativement ses propriétés de surface.

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Afin de ne pas endommager les caractéristiques du matériau lui-même, le traitement de modification de surface par plasma n'utilise généralement pas de plasma à haute densité de puissance. La différence entre ce traitement et les autres traitements plasma est la suivante :

1) Ne pas injecter d’ions ou d’atomes dans la surface traitée (comme par implantation ionique).

2) Ne retirez pas les matériaux plus gros (tels que la pulvérisation ou la gravure).

3) N'ajoutez pas plus de quelques couches simples (atomiques) de matériau à la surface (comme par dépôt).

En bref, le traitement de surface au plasma n’implique que les quelques couches atomiques les plus externes.

Les paramètres du procédé de modification de surface par plasma comprennent principalement la pression du gaz, la fréquence du champ électrique, la puissance de décharge, le temps d'action, etc. Ils sont faciles à ajuster. Lors du procédé de modification par plasma, de nombreuses particules actives sont susceptibles de réagir avec la surface traitée et peuvent être utilisées pour traiter la surface du matériau. Comparée aux méthodes traditionnelles, la modification de surface par plasma présente les avantages suivants : simplicité du procédé, simplicité d'utilisation, faible coût, absence de pollution, absence de déchets, production sûre et rendement élevé.


Date de publication : 07/06/2023