Magnetronruiskutusoptiset inline-tyhjiöpäällystysjärjestelmät ovat edistynyt tekniikka, jota käytetään ohuiden kalvojen kerrostamiseen erilaisille alustoille. Niitä käytetään yleisesti esimerkiksi optiikassa, elektroniikassa ja materiaalitieteessä. Seuraavassa on yksityiskohtainen yleiskatsaus:
Komponentit ja ominaisuudet:
1. magnetronisputterilähde:
Magnetronia käytetään tiheän plasman tuottamiseen.
Kohdemateriaalia (lähdettä) pommitetaan ioneilla, jolloin atomit sinkoutuvat (sputteroituvat) ja kerrostuvat substraatille.
Magnetroni voidaan suunnitella DC-, pulssi-DC- tai RF (radiotaajuus) -toimintaan sputteroitavasta materiaalista riippuen.
2. Linjajärjestelmä:
Substraattia liikutetaan jatkuvasti tai asteittain pinnoituskammion läpi.
Mahdollistaa suuren läpimenon ja laajojen alueiden tasaisen pinnoituksen.
Käytetään tyypillisesti lasin, muovin tai metallilevyjen pinnoittamiseen rullasta rullalle- tai tasokäsittelyprosesseissa.
3. tyhjiökammio:
Ylläpitää kontrolloitua matalapainetta sputteroinnin helpottamiseksi.
- Estää kontaminaation ja varmistaa kerrostuneiden kalvojen korkean puhtauden.
- Yleensä varustettu kuormauslukoilla, jotta altistuminen ilmakehän olosuhteille substraatin lastaamisen ja purkamisen aikana minimoidaan.
4. optisen pinnoitteen ominaisuudet:
- Erityisesti suunniteltu optisten pinnoitteiden, kuten heijastamattomien pinnoitteiden, peilien, suodattimien ja säteenjakajien, valmistukseen.
- Mahdollistaa kalvon paksuuden ja tasaisuuden tarkan hallinnan, mikä on kriittistä optisissa sovelluksissa.
5. prosessinohjausjärjestelmät:
- Edistykselliset valvonta- ja takaisinkytkentäjärjestelmät parametrien, kuten tehon, paineen ja alustan nopeuden, ohjaamiseen.
- Paikan päällä tehtävä diagnostiikka kalvon ominaisuuksien mittaamiseksi laskeutumisen aikana laadun ja tasaisuuden varmistamiseksi.
Sovellukset:
1. Optiikka:
- Linssien, peilien ja muiden optisten komponenttien pinnoittaminen suorituskyvyn parantamiseksi.
- Valmistaa monikerroksisia pinnoitteita interferenssisuodattimille ja muille monimutkaisille optisille laitteille.
2. Elektroniikka:
- Ohutkalvotransistorit, anturit ja muut elektroniset laitteet.
- Läpinäkyvät johtavat pinnoitteet näytöille ja kosketusnäytöille. 3.
3. aurinkopaneelit:
- Heijastamattomat ja johtavat pinnoitteet parantavat tehokkuutta.
Kapseloidut kerrokset kestävyyden takaamiseksi.
4. koristepinnoitteet:
- Korujen, kellojen ja muiden esineiden pinnoittaminen esteettisistä syistä.
Edut:
1. Korkea tarkkuus:
- Tarjoaa tasaisen ja toistettavan pinnoitteen, jonka paksuutta ja koostumusta voidaan tarkasti hallita. 2.
2. Skaalautuvuus:
- Sopii pienimuotoiseen tutkimukseen ja laajamittaiseen teolliseen tuotantoon. 3.
3. Monipuolisuus:
- Kerrostaa monenlaisia materiaaleja, mukaan lukien metalleja, oksideja, nitridejä ja komposiittiyhdisteitä.
4. Tehokkuus:
- Linjaan integroidut järjestelmät mahdollistavat jatkuvan käsittelyn, mikä vähentää seisokkiaikoja ja lisää läpivirtausta.
Julkaisun aika: 29. kesäkuuta 2024