③ Pinnoitteen korkea laatu Ionipommitus voi parantaa kalvon tiheyttä ja siten parantaa kalvon organisaatiorakennetta, mikä tekee kalvokerroksen tasaisuudesta hyvän, tiheän pinnoitteen organisaation, vähemmän reikiä ja kuplia, mikä parantaa kalvokerroksen laatua.
4. Korkea laskeutumisnopeus, nopea kalvonmuodostusnopeus, voi valmistaa 30 μm paksua kalvoa.
5. Pinnoitteeseen sovellettavien alustamateriaalien ja kalvomateriaalien valikoima on suhteellisen laaja. Soveltuu metalli- tai ei-metallipinnoituspinnoituksiin, kuten metalliyhdisteisiin, ei-metallisiin materiaaleihin, kuten teräkseen, ei-rautametalleihin, kvartsiin, keramiikkaan, muoveihin ja muihin pinnoitteen pintaan. Koska plasman aktiivisuus alentaa yhdisteiden synteesilämpötilaa, ionipinnoitus helpottaa erilaisten erittäin kovien yhdistekalvojen pinnoitusta.
Koska ionipinnoituksella on edellä mainitut ominaisuudet, sillä on erittäin laaja käyttöalue. Ionipinnoitustekniikkaa voidaan käyttää metallien, metalliseosten, johtavien materiaalien ja jopa johtamattomien materiaalien (käyttäen korkeataajuista esijännitettä) pinnoittamiseen alustalle. Ionipinnoituskalvo voi olla metallikalvo, moniseoskalvo, yhdistelmäkalvo, se voidaan pinnoittaa yksikerroksisesti, se voidaan myös pinnoittaa komposiittipinnoitteena; se voidaan pinnoittaa myös gradienttipinnoitteena ja nano-monikerroksisena pinnoituksena. Käyttämällä erilaisia kalvomateriaaleja, erilaisia reaktiokaasuja ja erilaisia prosessimenetelmiä ja parametreja voidaan saada aikaan kovaa kulutusta kestävää pinnoitusta, tiivistä ja kemiallisesti stabiilia korroosionkestävää pinnoitusta, kiinteää voitelukerrosta, erilaisia koristeellisia lukituskerroksia sekä elektroniikassa, optiikassa, energiatieteissä ja muissa erityisissä toiminnallisissa pinnoituksissa. Ionipinnoitustekniikkaa ja ionipinnoitustuotteita on käytetty laajalti.
–Tämä artikkeli on julkaistutyhjiöpinnoituskoneiden valmistajaGuangdong Zhenhua
Julkaisun aika: 12. tammikuuta 2024