سیستمهای لایهنشانی نوری درونخطی با روش کندوپاش مگنترونی، فناوری پیشرفتهای برای لایه نشانی لایههای نازک روی انواع زیرلایهها هستند که معمولاً در صنایعی مانند اپتیک، الکترونیک و علوم مواد مورد استفاده قرار میگیرند. در ادامه، مروری دقیق بر آنها خواهیم داشت:
اجزا و ویژگیها:
۱. منبع پاشش مگنترون:
برای تولید پلاسمای با چگالی بالا از مگنترون استفاده میشود.
ماده هدف (منبع) با یونها بمباران میشود که در نتیجه اتمها پرتاب (پراکنده) شده و روی زیرلایه رسوب میکنند.
مگنترون میتواند بسته به مادهای که قرار است کندوپاش شود، برای عملکرد DC، DC پالسی یا RF (فرکانس رادیویی) طراحی شود.
۲. سیستم درون خطی:
زیرلایه به طور مداوم یا تدریجی از طریق محفظه پوششدهی حرکت داده میشود.
امکان تولید با سرعت بالا و پوشش یکنواخت سطوح وسیع را فراهم میکند.
معمولاً برای پوششدهی ورقهای شیشه، پلاستیک یا فلز در فرآیندهای رول به رول یا تخت استفاده میشود.
۳. محفظه خلاء:
یک محیط کم فشار کنترل شده را برای تسهیل پاشش حفظ میکند.
- از آلودگی جلوگیری میکند و خلوص بالای فیلمهای رسوب داده شده را تضمین میکند.
- معمولاً مجهز به قفل بار هستند تا در هنگام بارگیری و تخلیه زیرلایه، قرار گرفتن در معرض شرایط جوی را به حداقل برسانند.
۴. قابلیتهای پوششدهی نوری:
- به طور خاص برای تولید پوششهای نوری مانند پوششهای ضد انعکاس، آینهها، فیلترها و تقسیمکنندههای پرتو طراحی شده است.
- امکان کنترل دقیق ضخامت و یکنواختی فیلم را فراهم میکند، که برای کاربردهای نوری بسیار مهم است.
۵. سیستمهای کنترل فرآیند:
- سیستمهای پیشرفته نظارت و بازخورد برای کنترل پارامترهایی مانند توان، فشار و سرعت زیرلایه.
- تشخیص در محل برای اندازهگیری خواص فیلم در حین رسوبگذاری برای اطمینان از کیفیت و ثبات.
کاربردها:
۱. اپتیک:
- پوششدهی لنزها، آینهها و سایر اجزای نوری برای بهبود عملکرد.
- پوششهای چندلایه برای فیلترهای تداخلی و سایر دستگاههای نوری پیچیده تولید میکند.
۲. الکترونیک:
- ترانزیستورهای فیلم نازک، حسگرها و سایر دستگاههای الکترونیکی.
- پوششهای رسانای شفاف برای نمایشگرها و صفحات لمسی. 3.
۳. پنلهای خورشیدی:
- پوششهای ضد انعکاس و رسانا برای بهبود کارایی.
- لایههای کپسوله شده برای دوام بیشتر
۴. پوششهای تزئینی:
- پوشش جواهرات، ساعت و سایر اقلام برای اهداف زیبایی شناسی.
مزایا:
1. دقت بالا:
- پوششی یکنواخت و تکرارپذیر با کنترل دقیق ضخامت و ترکیب ارائه میدهد. 2.
۲. مقیاسپذیری:
- مناسب برای تحقیقات در مقیاس کوچک و تولید صنعتی در مقیاس بزرگ. 3.
۳. تطبیقپذیری:
- طیف گستردهای از مواد، از جمله فلزات، اکسیدها، نیتریدها و ترکیبات کامپوزیتی را رسوب میدهد.
۴. کارایی:
- سیستمهای درون خطی امکان پردازش مداوم، کاهش زمان از کارافتادگی و افزایش توان عملیاتی را فراهم میکنند.
زمان ارسال: ۲۹ ژوئن ۲۰۲۴