Magnetron sputtering bidezko lineako hutsean estaldura sistema optikoak hainbat substratutan film meheak uzteko erabiltzen den teknologia aurreratua dira, eta optika, elektronika eta materialen zientzia bezalako industrietan erabili ohi dira. Jarraian, ikuspegi zehatza eskaintzen da:
Osagaiak eta ezaugarriak:
1. magnetron ihinztadura iturria:
Magnetroi bat erabiltzen da dentsitate handiko plasma sortzeko.
Helburuko materiala (iturria) ioiekin bonbardatzen da, eta horren ondorioz atomoak kanporatu (ihinztatu) eta substratuan metatzen dira.
Magnetroia korronte zuzeneko, korronte zuzeneko pultsatuzko edo RF (irrati-maiztasuneko) funtzionamendurako diseinatu daiteke, ihinztatutako materialaren arabera.
2. Lerroko sistema:
Substratua etengabe edo progresiboki mugitzen da estaldura-ganberan zehar.
Errendimendu handiko ekoizpena eta azalera handiak modu uniformean estaltzea ahalbidetzen du.
Normalean beira, plastikozko edo metalezko xaflak estaltzeko erabiltzen da, erroilu-erroilu edo ohe lauko prozesuetan.
3. huts-ganbera:
Presio baxuko ingurune kontrolatua mantentzen du sputtering-a errazteko.
- Kutsadura saihesten du eta metatutako filmen purutasun handia bermatzen du.
- Normalean karga-blokeoekin hornituta daude substratua kargatzean eta deskargatzean baldintza atmosferikoekiko esposizioa ahalik eta txikiena izan dadin.
4. estaldura optikoaren gaitasunak:
- Bereziki diseinatua islatzearen aurkako estaldurak, ispiluak, iragazkiak eta habe banatzaileak bezalako estaldura optikoak ekoizteko.
- Filmaren lodiera eta uniformetasuna zehatz-mehatz kontrolatzeko aukera ematen du, eta hori funtsezkoa da aplikazio optikoetarako.
5. prozesuen kontrol sistemak:
- Potentzia, presioa eta substratuaren abiadura bezalako parametroak kontrolatzeko monitorizazio eta feedback sistema aurreratuak.
- Kalitatea eta koherentzia bermatzeko, filmaren propietateak neurtzeko tokiko diagnostikoa metatzean zehar.
Aplikazioak:
1. Optika:
- Lenteak, ispiluak eta beste osagai optikoak estaltzea errendimendua hobetzeko.
- Interferentzia-iragazkietarako eta beste gailu optiko konplexu batzuetarako geruza anitzeko estaldurak ekoizten ditu.
2. Elektronika:
- Film fineko transistoreak, sentsoreak eta beste gailu elektroniko batzuk.
- Pantaila eta ukipen-pantailetarako estaldura eroale gardenak. 3.
3. eguzki-panelak:
- Eraginkortasuna hobetzeko islatzearen aurkako eta eroaletasun estaldurak.
- Iraunkortasunerako geruza kapsulatuak.
4. apaingarri-estaldurak:
- Bitxiak, erlojuak eta beste elementu batzuk helburu estetikoekin estaltzea.
Abantailak:
1. Zehaztasun Handia:
- Lodiera eta konposizioa zehatz-mehatz kontrolatuz estaldura uniforme eta errepikagarria eskaintzen du. 2.
2. Eskalagarritasuna:
- Eskala txikiko ikerketarako eta eskala handiko industria-ekoizpenerako egokia. 3.
3. Malgutasuna:
- Material ugari gordailutzen ditu, besteak beste, metalak, oxidoak, nitruroak eta konposatu konposatuak.
4. Eraginkortasuna:
- Lerroko sistemek etengabeko prozesamendua ahalbidetzen dute, geldialdi-denborak murriztuz eta ekoizpena handituz.
Argitaratze data: 2024ko ekainaren 29a