③ Estalduraren kalitate handia Ioi-bonbardaketak mintzaren dentsitatea hobetu dezakeenez, mintzaren egitura antolatzailea hobetu, mintz-geruzaren uniformetasuna ona izan dadin, estaldura trinkoa antolatuz, zulo eta burbuila gutxiago eginez, eta horrela mintz-geruzaren kalitatea hobetuz.
④Jaitsiera-tasa handia, filma sortzeko abiadura azkarra, 30um-ko lodierako filma prestatu dezake.
⑤ Estaldurari aplika dakizkiokeen substratu-materiala eta film-materiala nahiko zabalak dira. Metalezko konposatuen, material ez-metalikoen, hala nola altzairuaren, metal ez-ferrikoen, kuartzoaren, zeramiken, plastikoen eta estalduraren gainazaleko beste material batzuen gainazaleko metalezko edo ez-metalikoen estalduran aplika daitezke. Plasmaren jarduerak konposatuen sintesi-tenperatura jaisten laguntzen duenez, ioien estaldurak konposatu super-gogorren film ugari estaltzea errazten du.
Ioi-plakak aipatutako ezaugarriak dituenez, aplikazio sorta oso zabala du. Ioi-plakaren teknologia erabil daiteke metalak, aleazioak, material eroaleak eta baita material ez-eroaleak ere (maiztasun handiko polarizazioa erabiliz) substratu batean estaltzeko. Ioi-plakaren bidezko deposizioa metalezko filma, aleazio anitzeko filma, film konposatua izan daiteke, geruza bakarrekoa izan daiteke, konpositezko plaka ere izan daiteke; gradientezko plaka eta nano-geruza anitzeko plaka ere izan daiteke. Mintz-material desberdinak, erreakzio-gas desberdinak eta prozesu-metodo eta parametro desberdinak erabiliz, gainazala sendotzea lor daiteke, higaduraren aurkako plaka gogorra, korrosioaren aurkako plaka trinkoa eta kimikoki egonkorra, lubrifikazio-geruza solidoa, kolore anitzeko blokeo-geruza apaingarria, baita elektronika, optika, energia-zientzietan eta bestelako plaka funtzional bereziak ere. Ioi-plakaren teknologia eta ioi-plakaren produktuak asko erabili dira.
–Artikulu hau argitaratu duhutsean estaltzeko makina fabrikatzaileaGuangdong Zhenhua
Argitaratze data: 2024ko urtarrilaren 12a