Magnetronpihustusmeetodil põhinevad optilised vaakumkatmissüsteemid on täiustatud tehnoloogia, mida kasutatakse õhukeste kilede sadestamiseks mitmesugustele aluspindadele. Neid kasutatakse tavaliselt sellistes tööstusharudes nagu optika, elektroonika ja materjaliteadus. Järgnev on üksikasjalik ülevaade:
Komponendid ja omadused:
1. magnetroni pihustusallikas:
Magnetroni kasutatakse suure tihedusega plasma tekitamiseks.
Sihtmaterjali (allikat) pommitatakse ioonidega, mille tulemusel aatomid paiskuvad välja (pritsitakse) ja ladestuvad aluspinnale.
Magnetron saab olenevalt pritsitavast materjalist olla konstrueeritud alalisvoolu, impulss-alalisvoolu või raadiosagedusliku (RF) töö jaoks.
2. Sisseehitatud süsteem:
Substraati liigutatakse katmiskambris pidevalt või järk-järgult.
Võimaldab suurt läbilaskevõimet ja suurte pindade ühtlast katmist.
Tavaliselt kasutatakse klaasi, plasti või metalllehtede katmiseks rull-rull- või lameprotsessides.
3. vaakumkamber:
Säilitab kontrollitud madalrõhukeskkonna, et hõlbustada pritsimist.
- Hoiab ära saastumise ja tagab sadestunud kilede kõrge puhtuse.
- Tavaliselt varustatud laadimislukkudega, et minimeerida kokkupuudet atmosfääritingimustega substraadi laadimise ja mahalaadimise ajal.
4. optilise katte võimalused:
- Spetsiaalselt loodud optiliste katete, näiteks peegeldusvastaste katete, peeglite, filtrite ja kiirejagajate tootmiseks.
- Võimaldab kile paksuse ja ühtluse täpset juhtimist, mis on optiliste rakenduste jaoks kriitilise tähtsusega.
5. protsesside juhtimissüsteemid:
- Täiustatud jälgimis- ja tagasisidesüsteemid selliste parameetrite nagu võimsus, rõhk ja aluspinna kiirus juhtimiseks.
- Kohapealne diagnostika kile omaduste mõõtmiseks sadestamise ajal, et tagada kvaliteet ja järjepidevus.
Rakendused:
1. Optika:
- Läätsede, peeglite ja muude optiliste komponentide katmine jõudluse parandamiseks.
- Toodab mitmekihilisi katteid interferentsfiltritele ja muudele keerukatele optilistele seadmetele.
2. Elektroonika:
- Õhukese kilega transistorid, andurid ja muud elektroonikaseadmed.
- Läbipaistvad juhtivad katted kuvaritele ja puutetundlikele ekraanidele. 3.
3. päikesepaneelid:
- Peegeldusvastased ja juhtivad katted parema efektiivsuse tagamiseks.
- Kapseldatud kihid vastupidavuse tagamiseks.
4. dekoratiivsed katted:
- Ehete, kellade ja muude esemete katmine esteetilistel eesmärkidel.
Eelised:
1. Suur täpsus:
- Annab ühtlase ja korratava katte, mille paksust ja koostist saab täpselt kontrollida. 2.
2. Skaleeritavus:
- Sobib väikesemahuliseks uurimistööks ja suuremahuliseks tööstuslikuks tootmiseks. 3.
3. Mitmekülgsus:
- Ladestab väga erinevaid materjale, sh metalle, oksiide, nitriide ja komposiitühendeid.
4. Tõhusus:
- Liinisisene süsteem võimaldab pidevat töötlemist, vähendades seisakuid ja suurendades läbilaskevõimet.
Postituse aeg: 29. juuni 2024