Magnetronaj ŝprucantaj optikaj enliniaj vakuaj tegaĵsistemoj estas altnivela teknologio uzata por deponi maldikajn filmojn sur diversajn substratojn, ofte uzataj en industrioj kiel optiko, elektroniko kaj materialscienco. Jen detala superrigardo:
Komponantoj kaj trajtoj:
1. magnetrona ŝprucfonto:
Magnetrono estas uzata por generi alt-densecan plasmon.
La cela materialo (fonto) estas bombadita per jonoj, rezultante en atomoj estantaj elĵetitaj (ŝprucitaj) kaj deponitaj sur la substraton.
La magnetrono povas esti desegnita por funkciado per kontinua kurento, pulsa kontinua kurento, aŭ RF (radiofrekvenco), depende de la materialo, kiun oni ŝprucas.
2. Enlinia sistemo:
La substrato estas movita kontinue aŭ progrese tra la tegaĵkamero.
Permesas alt-trairan produktadon kaj unuforman tegaĵon de grandaj areoj.
Tipe uzata por kovri vitron, plaston aŭ metalajn foliojn en rul-al-rulaj aŭ plat-litprocezoj.
3. vakua ĉambro:
Konservas kontrolitan malaltpreman medion por faciligi ŝprucadon.
- Malhelpas poluadon kaj certigas altan purecon de deponitaj filmoj.
- Kutime ekipita per ŝarĝseruroj por minimumigi eksponiĝon al atmosferaj kondiĉoj dum substrata ŝarĝado kaj malŝarĝado.
4. optikaj tegaĵaj kapabloj:
- Specife desegnita por produkti optikajn tegaĵojn kiel kontraŭreflektajn tegaĵojn, spegulojn, filtrilojn kaj radiodisigilojn.
- Permesas precizan kontrolon de filmdikeco kaj homogeneco, kio estas kritika por optikaj aplikoj.
5. sistemoj por procesregado:
- Altnivelaj monitoraj kaj retrokuplaj sistemoj por kontroli parametrojn kiel potenco, premo kaj substrata rapido.
- Surloka diagnozo por mezuri filmajn ecojn dum deponado por certigi kvaliton kaj konsistencon.
Aplikoj:
1. Optiko:
- Tegado de lensoj, speguloj kaj aliaj optikaj komponantoj por plibonigi la rendimenton.
- Produktas plurtavolajn tegaĵojn por interferfiltriloj kaj aliaj kompleksaj optikaj aparatoj.
2. Elektroniko:
- Maldikaj filmtransistoroj, sensiloj kaj aliaj elektronikaj aparatoj.
- Travideblaj konduktivaj tegaĵoj por ekranoj kaj tuŝekranoj. 3.
3. sunpaneloj:
- Kontraŭreflektaj kaj konduktaj tegaĵoj por plibonigita efikeco.
- Enkapsuligitaj tavoloj por daŭreco.
4. dekoraciaj tegaĵoj:
- Tegado de juveloj, horloĝoj kaj aliaj objektoj por estetikaj celoj.
Avantaĝoj:
1. Alta Precizeco:
- Provizas unuforman kaj ripeteblan tegaĵon kun preciza kontrolo de dikeco kaj konsisto. 2.
2. Skalebleco:
- Taŭga por malgrandskala esplorado kaj grandskala industria produktado. 3.
3. Ĉiuflankeco:
- Deponas vastan gamon da materialoj, inkluzive de metaloj, oksidoj, nitridoj kaj kompozitaj kombinaĵoj.
4. Efikeco:
- Enliniaj sistemoj ebligas kontinuan prilaboradon, reduktante malfunkcitempon kaj pliigante trairon.
Afiŝtempo: 29-a de junio 2024