CFM1916

(1) Η σχάρα τεμαχίων έχει κυλινδρικό σχεδιασμό, με μεγάλη επιφάνεια επίστρωσης. Η χωρητικότητα φόρτωσης του προϊόντος είναι διπλάσια από αυτή του εξοπλισμού εξάτμισης δέσμης ηλεκτρονίων της ίδιας προδιαγραφής. Η σχάρα τεμαχίων έχει σχεδιαστεί με δομή περιστροφής και περιστροφής, η οποία μπορεί να προσαρμοστεί σε τεμάχια διαφόρων σχημάτων και χρησιμοποιείται ευρύτερα.
(2) Χρησιμοποιώντας το κυλινδρικό σύστημα ψεκασμού στόχου μαγνητρονίου μέσης συχνότητας και το βοηθητικό σύστημα πηγής ιόντων, η μεμβράνη επικάλυψης είναι συμπαγής, με υψηλό και σταθερό δείκτη διάθλασης, ισχυρή πρόσφυση και δεν είναι εύκολο να προσροφήσει μόρια υδρατμών. Σε διάφορα περιβάλλοντα, η μεμβράνη διατηρεί πιο σταθερή οπτική απόδοση από την μεμβράνη που εναποτίθεται από τον παραδοσιακό εξοπλισμό εξάτμισης δέσμης ηλεκτρονίων.
(3) Εξοπλισμένη με σύστημα παρακολούθησης κρυστάλλων για τον ακριβή έλεγχο του πάχους της μεμβράνης, η διαδικασία έχει υψηλή σταθερότητα και καλή επαναληψιμότητα. Το σύστημα κλειστού βρόχου και αυτόματου ελέγχου SPEEDFLO μπορεί να βελτιώσει αποτελεσματικά τον ρυθμό εναπόθεσης SiO2.
(4) Ο σχεδιασμός του θερμοστατικού εξαρτήματος μπορεί να ελέγχει αποτελεσματικά τη θερμοκρασία του προϊόντος και μπορεί να προσαρμοστεί σε εξαιρετικά λεπτά προϊόντα PET και PC.