Die Vakuum-Ionenplattierung (kurz: Ionenplattierung) ist eine neue Oberflächenbehandlungstechnologie, die sich in den 1970er Jahren rasant entwickelte und 1963 von D. M. Mattox von der Somdia Company in den USA vorgeschlagen wurde. Sie bezeichnet das Verfahren, bei dem mithilfe einer Verdampfungsquelle oder eines Sputtertargets Material verdampft oder abgesputtert wird.
① Antireflexionsfolie. Beispiele hierfür sind Kameras, Diaprojektoren, Projektoren, Filmprojektoren, Teleskope, Sehgläser sowie einschichtige MgF₂-Beschichtungen auf Linsen und Prismen verschiedener optischer Instrumente und zwei- oder mehrschichtige Breitband-Antireflexionsfolien aus SiOFrO₂, AlO, ...
① Gute Kontrollierbarkeit und Wiederholbarkeit der Schichtdicke Die Kontrollierbarkeit der Schichtdicke, also ob die Schichtdicke auf einen vorgegebenen Wert eingestellt werden kann, wird als Schichtdickenkontrollierbarkeit bezeichnet. Die Wiederholbarkeit der gewünschten Schichtdicke über viele Male wird als Schichtdickenwiederholbarkeit bezeichnet. Da die Entladung...
Die chemische Gasphasenabscheidung (CVD) ist ein Filmbildungsverfahren, das durch Erhitzen, Plasmaverstärkung, Fotoassistierung und andere Methoden gasförmige Substanzen unter Normal- oder Niederdruck chemisch in feste Filme auf der Substratoberfläche umwandelt. Im Allgemeinen verläuft die Reaktion in...
1. Die Verdampfungsrate beeinflusst die Eigenschaften der aufgedampften Beschichtung. Die Verdampfungsrate hat einen großen Einfluss auf den abgeschiedenen Film. Da die bei niedriger Abscheidungsrate entstehende Beschichtungsstruktur locker ist und leicht zu Ablagerungen großer Partikel führt, ist es ratsam, eine höhere Verdampfungsrate zu wählen.
Die Vakuumbeschichtungsanlage besteht aus vielen Präzisionsteilen, die in zahlreichen Bearbeitungsschritten wie Schweißen, Schleifen, Drehen, Hobeln, Bohren, Fräsen usw. hergestellt werden. Durch diese Bearbeitungsschritte werden die Oberflächen der Anlagenteile zwangsläufig mit Verunreinigungen wie Fett kontaminiert.
Das Vakuumbeschichtungsverfahren stellt hohe Anforderungen an die Anwendungsumgebung. Bei herkömmlichen Vakuumverfahren sind die wichtigsten Anforderungen an die Vakuumreinigung: Es dürfen sich keine Verschmutzungsquellen auf den Bauteilen oder Oberflächen der Anlage im Vakuum befinden, die Oberfläche der Vakuumkammer muss sauber sein…
Die Ionenbeschichtungsanlage entstand aus der Theorie von DM Mattox aus den 1960er Jahren, und entsprechende Experimente begannen zu dieser Zeit. Bis 1971 veröffentlichten Chambers und andere die Technologie der Elektronenstrahl-Ionenplattierung. Die reaktive Verdampfungsplattierungstechnologie (ARE) wurde in der Bu...
Die rasante Entwicklung von Vakuumbeschichtungsanlagen hat die Vielfalt der Anlagentypen erheblich erweitert. Im Folgenden werden die verschiedenen Beschichtungsarten und ihre Anwendungsbereiche aufgeführt. Unsere Beschichtungsanlagen lassen sich zunächst in dekorative Beschichtungsanlagen, elektronische Beschichtungsanlagen usw. unterteilen.
Prinzip des Magnetron-Sputterns: Elektronen kollidieren unter dem Einfluss eines elektrischen Feldes mit Argonatomen, während sie auf das Substrat beschleunigt werden. Dabei werden zahlreiche Argonionen und Elektronen ionisiert, und die Elektronen fliegen zum Substrat. Die Argonionen werden beschleunigt und bombardieren das Zielmaterial.
1. Die Vakuum-Plasma-Reinigungsanlage verhindert, dass beim Nassreinigen gesundheitsschädliche Gase entstehen und dass Gegenstände gewaschen werden müssen. 2. Das Reinigungsobjekt ist nach der Plasmareinigung getrocknet und kann ohne weitere Trocknung direkt dem nächsten Bearbeitungsschritt zugeführt werden.
Die PVD-Beschichtung ist eine der wichtigsten Technologien zur Herstellung von Dünnschichtmaterialien. Die Schicht verleiht der Produktoberfläche eine metallische Textur und eine intensive Farbe, verbessert die Verschleiß- und Korrosionsbeständigkeit und verlängert die Lebensdauer. Sputtern und Vakuumverdampfung sind die beiden gängigsten Verfahren.
Aktuell entwickelt die Industrie optische Beschichtungen für Anwendungen wie Digitalkameras, Barcode-Scanner, Glasfasersensoren und Kommunikationsnetze sowie biometrische Sicherheitssysteme. Der Markt wächst hin zu kostengünstigen, leistungsstarken optischen Kunststoffbeschichtungen…
Beschichtetes Glas wird in dampfbeschichtetes, magnetron-zerstäubtes und inline-dampfabgeschiedenes Glas unterteilt. Da sich die Beschichtungsverfahren unterscheiden, variieren auch die Methoden zur Beschichtungsentfernung. Vorschlag 1: Polieren und Abreiben mit Salzsäure und Zinkpulver…
1. Beim Verbinden von Vakuumkomponenten wie Ventilen, Kondensatabscheidern, Staubabscheidern und Vakuumpumpen sollte die Förderleitung möglichst kurz sein, der Durchfluss großflächig und der Leitungsdurchmesser im Allgemeinen nicht kleiner als der Durchmesser des Pumpenanschlusses.