SeitVakuumbeschichtungsanlageDa die Anlage unter Vakuumbedingungen arbeitet, muss sie die Vakuumanforderungen erfüllen. Die in Deutschland geltenden Industrienormen für verschiedene Arten von Vakuumbeschichtungsanlagen (einschließlich der Allgemeinen Technischen Bedingungen für Vakuumbeschichtungsanlagen, Vakuum-Ionenbeschichtungsanlagen, Vakuum-Sputterbeschichtungsanlagen und Vakuum-Aufdampfbeschichtungsanlagen) legen die Umweltanforderungen klar fest. Nur wenn die Umweltanforderungen der Vakuumbeschichtungsanlage erfüllt sind, kann diese normal funktionieren und mit dem richtigen Beschichtungsverfahren können die geeigneten Beschichtungsprodukte hergestellt werden.
Die Anforderungen an die Vakuumumgebung umfassen im Allgemeinen die Anforderungen der Vakuumanlage an die Umgebung, wie z. B. die Temperatur im Labor (oder in der Werkstatt), die geringe Luftzufuhr und die Anforderungen an Teile oder Oberflächen im Vakuum. Diese beiden Aspekte sind eng miteinander verknüpft. Die Qualität der Umgebung wirkt sich direkt auf den normalen Gebrauch der Vakuumanlage aus, und die Reinigung der Vakuumkammer der Vakuumanlage oder der darin befindlichen Teile wirkt sich direkt auf die Leistung der Anlage aus. Enthält die Luft viel Wasserdampf und Staub und wurde die Vakuumkammer nicht gereinigt, ist es mit einer ölgedichteten mechanischen Pumpe schwierig, den gewünschten Vakuumgrad zu erreichen. Ölgedichtete mechanische Pumpen sind bekanntlich nicht zum Pumpen von Gasen geeignet, die Metalle korrosiv angreifen, chemisch mit Vakuumöl reagieren oder Staubpartikel enthalten. Wasserdampf ist ein kondensierbares Gas. Fördert die Pumpe große Mengen kondensierbaren Gases, wird das Pumpenöl stärker verschmutzt. Dadurch sinkt das Endvakuum der Pumpe und die Pumpleistung der Pumpe wird zerstört.
Die normalen Arbeitsbedingungen von Vakuumbeschichtungsanlagen sind:
① Umgebungstemperatur 10–30 °C;
2. Die relative Luftfeuchtigkeit beträgt nicht mehr als 70 %.
3. Die Kühlwassereintrittstemperatur ist nicht höher als 25 °C.
④ Kühlwasserqualität: Leitungswasser der Stadt oder Wasser gleichwertiger Qualität;
⑤Versorgungsspannung: 380 V, dreiphasig 50 Hz oder 220 V, einphasig 50 Hz (je nach Bedarf der verwendeten Elektrogeräte), Spannungsschwankungsbereich 342–399 V oder 198–231 V, Frequenzschwankungsbereich 49–51 Hz;
⑥Druck, Temperatur und Verbrauch sollten in der Bedienungsanleitung des Produkts angegeben sein.
⑦ Die Umgebung des Geräts ist sauber und die Luft rein. Außerdem sollten weder Staub noch Gase vorhanden sein, die Oberflächenkorrosion an Elektrogeräten und anderen Metallteilen verursachen oder eine elektrische Leitung zwischen Metallen bewirken könnten.
Darüber hinaus sollte das Labor oder die Werkstatt, in der sich die Vakuumbeschichtungsanlage befindet, sauber und hygienisch gehalten werden. Der Boden besteht aus Terrazzo oder lackiertem Holz und ist staubfrei. Um zu verhindern, dass das von der mechanischen Pumpe austretende Gas die Laborumgebung verschmutzt, kann es am Auslass der Pumpe verwendet werden. Installieren Sie ein Abluftrohr (Metall, Gummirohr) an der Oberfläche, um das Gas nach außen abzuführen.
Veröffentlichungszeit: 17. März 2023