Proces vakuového napařování obecně zahrnuje čištění povrchu substrátu, přípravu před nanášením povlaku, napařování, nanášení, úpravu po nanášení povlaku, testování a hotové výrobky.
(1) Čištění povrchu substrátu. Stěny vakuové komory, rám substrátu a další povrchy, olej, rez a zbytky pokovovacího materiálu se ve vakuu snadno odpařují, což přímo ovlivňuje čistotu vrstvy filmu a pevnost spoje, a proto je nutné je před pokovováním očistit.
(2) Příprava před nanášením vrstvy. Po nanášení vrstvy se vyprázdní podtlak na odpovídající stupeň vakua, substrát a povlakové materiály se předúpraví. Zahřátí substrátu má za cíl odstranit vlhkost a zvýšit pevnost spoje mezi podkladovou membránou. Zahřátím substrátu ve vysokém vakuu se desorbuje plyn adsorbovaný na povrchu substrátu a plyn se poté z vakuové komory odvede pomocí vakuového čerpadla, což vede ke zlepšení stupně vakua v povlakovací komoře, čistoty vrstvy filmu a pevnosti spoje mezi podkladovou membránou. Po dosažení určitého stupně vakua se nejprve zapne odpařovací zdroj s nižším elektrickým výkonem, který předehřeje nebo předtaví film. Aby se zabránilo odpařování na substrát, zakryje se zdroj odpařování a zdrojový materiál přepážkou a poté se přivede vyšší elektrický výkon, povlakový materiál se rychle zahřeje na teplotu odpařování, odpaří se a přepážka se odstraní.
(3) Odpařování. Kromě fáze odpařování, která vyžaduje volbu vhodné teploty substrátu, je velmi důležitým parametrem také teplota odpařování pokovovacího materiálu mimo tlak nanášeného vzduchu. Tlak nanášeného plynu, tj. vakuum v nanášecí místnosti, určuje průměrný volný pohyb molekul plynu v odpařovacím prostoru a určitou odpařovací vzdálenost pod párou a zbytkovými atomy plynu a počet srážek mezi atomy páry.
(4) Vykládka. Po dosažení požadované tloušťky vrstvy filmu zakryjte zdroj odpařování přepážkou a zastavte ohřev, ale bez okamžitého vedení vzduchu. Nechte zdroj po určitou dobu chladnout ve vakuu, aby se zabránilo oxidaci zbytkového pokovování, materiálu a odporu, zdroje odpařování a tak dále. Poté zastavte čerpání a nafoukněte, otevřete vakuovou komoru a vyjměte substrát.
–Tento článek vydávávýrobce vakuových lakovacích strojůGuangdong Zhenhua
Čas zveřejnění: 27. září 2024