Optički vakuumski sistemi za magnetronsko raspršivanje su napredna tehnologija koja se koristi za nanošenje tankih filmova na različite podloge, a često se koriste u industrijama kao što su optika, elektronika i nauka o materijalima. Slijedi detaljan pregled:
Komponente i karakteristike:
1. izvor magnetronskog raspršivanja:
Magnetron se koristi za generiranje plazme visoke gustoće.
Ciljni materijal (izvor) se bombarduje ionima, što rezultira izbacivanjem (raspršivanjem) atoma i njihovim taloženjem na podlogu.
Magnetron može biti dizajniran za rad na istosmjernoj struji, pulsirajućoj istosmjernoj struji ili RF (radiofrekvencijskom) struji, ovisno o materijalu koji se raspršuje.
2. Sistem u liniji:
Podloga se kontinuirano ili progresivno pomiče kroz komoru za premazivanje.
Omogućava visok protok i ravnomjerno premazivanje velikih površina.
Obično se koristi za premazivanje stakla, plastike ili metalnih ploča u procesima proizvodnje s rolne na rolu ili na ravnoj podlozi.
3. vakuumska komora:
Održava kontrolirano okruženje niskog pritiska kako bi se olakšalo raspršivanje.
- Sprečava kontaminaciju i osigurava visoku čistoću nanesenih filmova.
- Obično opremljeni bravama za teret kako bi se smanjila izloženost atmosferskim uslovima tokom utovara i istovara podloge.
4. mogućnosti optičkog premaza:
- Posebno dizajniran za proizvodnju optičkih premaza kao što su antirefleksni premazi, ogledala, filteri i razdjelnici snopa.
- Omogućava preciznu kontrolu debljine i ujednačenosti filma, što je ključno za optičke primjene.
5. sistemi za kontrolu procesa:
- Napredni sistemi za praćenje i povratnu informaciju za kontrolu parametara kao što su snaga, pritisak i brzina supstrata.
- Dijagnostika na licu mjesta za mjerenje svojstava filma tokom nanošenja kako bi se osigurala kvaliteta i konzistentnost.
Primjene:
1. Optika:
- Premazivanje sočiva, ogledala i drugih optičkih komponenti radi poboljšanja performansi.
- Proizvodi višeslojne premaze za interferentne filtere i druge složene optičke uređaje.
2. Elektronika:
- Tankoslojni tranzistori, senzori i drugi elektronski uređaji.
- Prozirni provodljivi premazi za displeje i ekrane osjetljive na dodir. 3.
3. solarni paneli:
- Antirefleksni i provodljivi premazi za poboljšanu efikasnost.
- Kapsulirani slojevi za izdržljivost.
4. dekorativni premazi:
- Premazivanje nakita, satova i drugih predmeta u estetske svrhe.
Prednosti:
1. Visoka preciznost:
- Omogućava ujednačen i ponovljiv premaz s preciznom kontrolom debljine i sastava. 2.
2. Skalabilnost:
- Pogodno za istraživanja malog obima i industrijsku proizvodnju velikih razmjera. 3.
3. Svestranost:
- Taloži širok spektar materijala, uključujući metale, okside, nitride i kompozitne spojeve.
4. Efikasnost:
- Linijski sistemi omogućavaju kontinuiranu obradu, smanjujući zastoje i povećavajući protok.
Vrijeme objave: 29. juni 2024.