Высокаэнергетычная плазма можа бамбардзіраваць і апраменьваць палімерныя матэрыялы, разрываючы іх малекулярныя ланцугі, утвараючы актыўныя групы, павялічваючы павярхоўную энергію і выклікаючы травленне. Плазменная апрацоўка паверхні не ўплывае на ўнутраную структуру і характарыстыкі аб'ёмнага матэрыялу, а толькі істотна змяняе ўласцівасці паверхні.
Каб не пашкодзіць характарыстыкі самога матэрыялу, пры плазменнай мадыфікацыі паверхні звычайна не выкарыстоўваецца плазма з больш высокай шчыльнасцю магутнасці. Розніца паміж гэтай апрацоўкай і іншымі плазменнымі апрацоўкамі заключаецца ў наступным:
1) Не ўводзьце іоны або атамы ў апрацоўваную паверхню (напрыклад, шляхам іённай імплантацыі).
2) Не выдаляйце больш буйныя матэрыялы (напрыклад, метадам распылення або травлення).
3) Не дадавайце на паверхню больш за некалькі асобных (атамных) слаёў матэрыялу (напрыклад, метадам адкладання).
Карацей кажучы, плазменная апрацоўка паверхні закранае толькі некалькі крайніх атамных слаёў.
Параметры працэсу плазменнай мадыфікацыі паверхні ў асноўным ўключаюць ціск газу, частату электрычнага поля, магутнасць разраду, час дзеяння і г.д. Параметры працэсу лёгка рэгуляваць. Падчас працэсу плазменнай мадыфікацыі многія актыўныя часціцы схільныя рэагаваць з апрацоўванай паверхняй, з якой яны кантактуюць, і могуць быць выкарыстаны для апрацоўкі паверхні матэрыялу. У параўнанні з традыцыйнымі метадамі, плазменная мадыфікацыя паверхні мае перавагі прастаты працэсу, прастаты эксплуатацыі, нізкай кошту, адсутнасці забруджвання навакольнага асяроддзя, адсутнасці адходаў, бяспечнай вытворчасці і высокай эфектыўнасці.
Час публікацыі: 07 чэрвеня 2023 г.