Magnetron püskürən optik in-line vakuum örtük sistemləri nazik təbəqələri müxtəlif substratlara yerləşdirmək üçün istifadə edilən qabaqcıl texnologiyadır, optika, elektronika və materialşünaslıq kimi sənayelərdə geniş istifadə olunur. Aşağıdakılar ətraflı icmaldır:
Komponentlər və xüsusiyyətlər:
1. maqnetron püskürtmə mənbəyi:
Yüksək sıxlıqlı plazma yaratmaq üçün bir maqnetron istifadə olunur.
Hədəf material (mənbə) ionlarla bombalanır, nəticədə atomlar atılır (səpilir) və substratın üzərinə çökür.
Maqnetron, püskürən materialdan asılı olaraq DC, impulslu DC və ya RF (radio tezliyi) əməliyyatı üçün nəzərdə tutula bilər.
2. Daxili sistem:
Substrat örtük kamerası vasitəsilə davamlı və ya tədricən hərəkət edir.
Yüksək məhsuldarlıq istehsalına və geniş sahələrin vahid örtülməsinə imkan verir.
Bir qayda olaraq, rulondan ruloya və ya düz yataq proseslərində şüşə, plastik və ya metal təbəqələri örtmək üçün istifadə olunur.
3. vakuum kamerası:
Püskürtməni asanlaşdırmaq üçün idarə olunan aşağı təzyiq mühitini saxlayır.
- Çirklənmənin qarşısını alır və yığılmış filmlərin yüksək təmizliyini təmin edir.
- Substratın yüklənməsi və boşaldılması zamanı atmosfer şəraitinə məruz qalmağı minimuma endirmək üçün adətən yük kilidləri ilə təchiz edilir.
4. optik örtük imkanları:
- Xüsusilə əks əks etdirməyən örtüklər, güzgülər, filtrlər və şüa ayırıcılar kimi optik örtüklərin istehsalı üçün nəzərdə tutulmuşdur.
- Optik tətbiqlər üçün vacib olan film qalınlığına və vahidliyinə dəqiq nəzarət etməyə imkan verir.
5. prosesə nəzarət sistemləri:
- Güc, təzyiq və substrat sürəti kimi parametrlərə nəzarət etmək üçün qabaqcıl monitorinq və əks əlaqə sistemləri.
- Keyfiyyət və ardıcıllığı təmin etmək üçün çökmə zamanı filmin xüsusiyyətlərini ölçmək üçün yerində diaqnostika.
Tətbiqlər:
1. Optika:
- Performansı yaxşılaşdırmaq üçün linzaları, güzgüləri və digər optik komponentləri örtmək.
- Müdaxilə filtrləri və digər mürəkkəb optik cihazlar üçün çox qatlı örtüklər istehsal edir.
2. Elektronika:
- nazik film tranzistorları, sensorlar və digər elektron cihazlar.
- Ekranlar və sensor ekranlar üçün şəffaf keçirici örtüklər. 3.
3. günəş panelləri:
- Təkmilləşdirilmiş effektivlik üçün əks əks etdirən və keçirici örtüklər.
- Davamlılıq üçün kapsullaşdırılmış təbəqələr.
4. dekorativ örtüklər:
- Estetik məqsədlər üçün zərgərlik, saat və digər əşyaların üzlənməsi.
Üstünlüklər:
1. Yüksək Dəqiqlik:
- Qalınlığın və tərkibin dəqiq nəzarəti ilə vahid və təkrarlanan örtük təmin edir. 2.
2. Ölçeklenebilirlik:
- Kiçik miqyaslı tədqiqatlar və iri sənaye istehsalı üçün uyğundur. 3.
3. Çox yönlülük:
- Metallar, oksidlər, nitridlər və kompozit birləşmələr daxil olmaqla geniş çeşidli materialları yatırır.
4. Səmərəlilik:
- In-line sistemlər davamlı emal etməyə, dayanma müddətini azaltmağa və məhsuldarlığı artırmağa imkan verir.
Göndərmə vaxtı: 29 iyun 2024-cü il