Vakuum buxarının çökdürülməsi prosesinə ümumiyyətlə substrat səthinin təmizlənməsi, örtükdən əvvəl hazırlıq, buxarın çökməsi, yükləmə, örtükdən sonra emal, sınaq və hazır məhsul daxildir.
(1) Substrat səthinin təmizlənməsi. Vakuum kamerasının divarları, substrat çərçivəsi və digər səth yağı, pas, qalıq örtük materialı vakuumda asanlıqla buxarlanır, film təbəqəsinin təmizliyinə və yapışdırıcı qüvvəyə birbaşa təsir göstərir, örtükdən əvvəl təmizlənməlidir.
(2) Kaplamadan əvvəl hazırlıq. Boş vakuumu müvafiq vakuum dərəcəsinə, substratı və ilkin emal üçün örtük materiallarını örtmək. Substratın qızdırılması, məqsədi nəm çıxarmaq və membran bazası bağlama gücünü artırmaqdır. Substratın yüksək vakuum altında qızdırılması, substratın səthində adsorbsiya edilmiş qazı desorbsiya edə bilər və sonra qazı vakuum nasosu vasitəsilə vakuum kamerasından çıxara bilər ki, bu da örtük kamerasının vakuum dərəcəsini, film təbəqəsinin saflığını və plyonka əsasının yapışma gücünü yaxşılaşdırmaq üçün əlverişlidir. Müəyyən bir vakuum dərəcəsinə çatdıqdan sonra, daha az elektrik enerjisi olan ilk buxarlanma mənbəyi, filmin əvvəlcədən qızdırılması və ya əvvəlcədən əriməsi. Substrata buxarlanmanın qarşısını almaq üçün, buxarlanma mənbəyini və mənbə materialını bir çubuqla örtün və daha sonra elektrik enerjisinin daha yüksək gücünü daxil edin, örtük materialı sürətlə buxarlanma temperaturuna qədər qızdırılır, buxarlanma və sonra şkafı çıxarın.
(3) Buxarlanma. Müvafiq substrat temperaturunu seçmək üçün buxarlanma mərhələsinə əlavə olaraq, hava təzyiqinin çökməsi xaricində örtük materialının buxarlanma temperaturu da çox vacib bir parametrdir. Kaplama otağının vakuumu olan qaz təzyiqinin çökməsi, buxarlanma məkanında hərəkət edən qaz molekullarının orta sərbəst diapazonunu və buxar və qalıq qaz atomları altında müəyyən buxarlanma məsafəsini və buxar atomları arasındakı toqquşmaların sayını müəyyən edir.
(4) Boşaltma. Film təbəqəsinin qalınlığından sonra tələblərə cavab vermək üçün buxarlanma mənbəyini bir çubuqla örtün və istiliyi dayandırın, lakin dərhal havaya rəhbərlik etməyin, soyumaq üçün bir müddət vakuum şəraitində soyumağa davam etmə ehtiyacı, örtükün qarşısını almaq, qalıq örtük materialı və müqavimət, buxarlanma mənbəyi və s.
- Bu məqalə nəşr olunurvakuum örtük maşın istehsalçısıGuangdong Zhenhua
Göndərmə vaxtı: 27 sentyabr 2024-cü il