تتضمن عملية ترسيب البخار الفراغي بشكل عام تنظيف سطح الركيزة، والتحضير قبل الطلاء، وترسيب البخار، والتحميل، والمعالجة بعد الطلاء، والاختبار، والمنتجات النهائية.
(1) تنظيف سطح الركيزة. جدران غرفة التفريغ، وإطار الركيزة، وغيرها من الزيوت السطحية، والصدأ، ومواد الطلاء المتبقية تتبخر بسهولة في الفراغ، مما يؤثر بشكل مباشر على نقاء طبقة الفيلم وقوة الترابط، لذلك يجب تنظيفها قبل الطلاء.
(2) التحضير قبل الطلاء. طلاء الفراغ الفارغ إلى درجة الفراغ المناسبة، والركيزة ومواد الطلاء للمعالجة المسبقة. تسخين الركيزة، والغرض من ذلك هو إزالة الرطوبة وتعزيز قوة الترابط قاعدة الغشاء. تسخين الركيزة تحت فراغ عالي يمكن أن يمتص الغاز الممتص على سطح الركيزة، ثم استنفاد الغاز من غرفة التفريغ بواسطة مضخة التفريغ، مما يساعد على تحسين درجة فراغ غرفة الطلاء، ونقاء طبقة الفيلم وقوة الترابط لقاعدة الفيلم. بعد الوصول إلى درجة فراغ معينة، أول مصدر تبخر بقوة كهربائية أقل، والفيلم التسخين المسبق أو ما قبل الذوبان. من أجل منع التبخر إلى الركيزة، وتغطية مصدر التبخر والمواد المصدرة بحاجز، ثم إدخال قوة كهربائية أعلى، يتم تسخين مادة الطلاء بسرعة إلى درجة حرارة التبخر، والتبخر ثم إزالة الحاجز.
(٣) التبخر. بالإضافة إلى مرحلة التبخر لاختيار درجة حرارة الركيزة المناسبة، تُعدّ درجة حرارة تبخر مادة الطلاء خارج ضغط الهواء المترسب عاملاً بالغ الأهمية. يُحدد ضغط الغاز المترسب، وهو فراغ غرفة الطلاء، متوسط المدى الحر لجزيئات الغاز المتحركة في مساحة التبخر، ومسافة تبخر محددة تحت ذرات البخار والغاز المتبقي، وعدد التصادمات بين ذرات البخار.
(4) التفريغ. بعد سمك طبقة الفيلم لتلبية المتطلبات، وتغطية مصدر التبخر مع حاجز وتوقف التدفئة، ولكن لا توجه الهواء على الفور، والحاجة إلى الاستمرار في التبريد تحت ظروف الفراغ لفترة من الوقت لتبرد، لمنع الطلاء، والمواد الطلاء المتبقية والمقاومة، ومصدر التبخر وهلم جرا مؤكسد، ثم توقف الضخ، ثم تضخم، وفتح غرفة الفراغ لإخراج الركيزة.
-تم نشر هذه المقالة بواسطةمُصنِّع آلات طلاء الفراغقوانغدونغ تشنهوا
وقت النشر: ٢٧ سبتمبر ٢٠٢٤