የአልማዝ ቀጭን ፊልሞች ቴክኖሎጂ-ምዕራፍ 1

ሙቅ ክር ሲቪዲ ዝቅተኛ ግፊት ባለው አልማዝ ለማምረት በጣም የመጀመሪያ እና በጣም ታዋቂው ዘዴ ነው። 1982 ማትሱሞቶ እና ሌሎች. የብረት ክር ከ 2000 ዲግሪ ሴንቲግሬድ በላይ ያሞቅ ነበር, በዚህ የሙቀት መጠን በክሩ ውስጥ የሚያልፍ H2 ጋዝ የሃይድሮጂን አተሞችን ይፈጥራል. በሃይድሮካርቦን ፒሮሊሲስ ወቅት የአቶሚክ ሃይድሮጂን ምርት የአልማዝ ፊልሞችን የማስቀመጫ መጠን ጨምሯል። አልማዝ ተመርጦ የተከማቸ ሲሆን ግራፋይት መፈጠር ታግዷል፣ በዚህም ምክንያት የአልማዝ ፊልም አቀማመጥ በ mm/h ቅደም ተከተል ሲሆን ይህም በኢንዱስትሪ ውስጥ በብዛት ጥቅም ላይ ለሚውሉ ዘዴዎች በጣም ከፍተኛ የሆነ የማስቀመጫ መጠን ነው። ኤችኤፍሲቪዲ የተለያዩ የካርበን ምንጮችን ማለትም ሚቴን፣ ፕሮፔንን፣ አቴታይሊንን እና ሌሎች ሃይድሮካርቦኖችን እንዲሁም አንዳንድ ኦክሲጅን የያዙ ሃይድሮካርቦኖችን ለምሳሌ አሴቶን፣ ኢታኖል እና ሜታኖልን በመጠቀም ሊከናወን ይችላል። ኦክሲጅን የያዙ ቡድኖች መጨመር የአልማዝ ማስቀመጫውን የሙቀት መጠን ያሰፋዋል.

ከተለመደው የኤችኤፍሲቪዲ ስርዓት በተጨማሪ በ HFCVD ስርዓት ላይ በርካታ ማሻሻያዎች አሉ። በጣም የተለመደው የዲሲ ፕላዝማ እና የኤችኤፍሲቪዲ ስርዓት ጥምር ነው። በዚህ ስርዓት ውስጥ, የአድሎአዊ ቮልቴጅ በንጣፍ እና ክር ላይ ሊተገበር ይችላል. በመሬቱ ላይ ያለው የማያቋርጥ አዎንታዊ አድልዎ እና በክሩ ላይ ያለው የተወሰነ አሉታዊ አድልዎ ኤሌክትሮኖች ንብረቱን እንዲደበድቡ ያደርጋቸዋል ፣ ይህም የገጽታ ሃይድሮጂን እንዲበሰብስ ያስችለዋል። የማድረቂያው ውጤት የአልማዝ ፊልም (በ 10 ሚሜ በሰዓት) የተከማቸ ፍጥነት መጨመር ነው, ይህ ዘዴ በኤሌክትሮን የታገዘ HFCVD በመባል ይታወቃል. የአድልዎ ቮልቴጅ የተረጋጋ የፕላዝማ ፈሳሽ ለመፍጠር በቂ በሚሆንበት ጊዜ, የ H2 እና የሃይድሮካርቦኖች መበስበስ በከፍተኛ ሁኔታ ይጨምራል, ይህም በመጨረሻ የእድገት መጠን ይጨምራል. የአድሏዊው ፖላሪቲ ሲገለበጥ (ንጥረ-ነገር በአሉታዊነት የተዛባ ነው) ፣ ion bombardment በንዑስ ፕላስቲቱ ላይ ይከሰታል ፣ ይህም የአልማዝ ባልሆኑ ንጣፎች ላይ የአልማዝ ኒውክሊየሽን እንዲጨምር ያደርጋል። ሌላው ማሻሻያ አንድ ወጥ የሆነ አቀማመጥ እና በመጨረሻም ሰፊ የአልማዝ ፊልም ለማግኘት አንድ ሙቅ ክር በበርካታ የተለያዩ ክሮች መተካት ነው።

(2) ማይክሮዌቭ ፕላዝማ ሲቪዲ (MWCVD)

በ 1970 ዎቹ ውስጥ, ሳይንቲስቶች የዲሲ ፕላዝማ በመጠቀም የአቶሚክ ሃይድሮጂን መጠን መጨመር እንደሚቻል ደርሰውበታል. በዚህ ምክንያት ፕላዝማ ኤች 2ን ወደ አቶሚክ ሃይድሮጅን በመበስበስ እና በካርቦን ላይ የተመሰረቱ የአቶሚክ ቡድኖችን በማንቃት የአልማዝ ፊልሞችን መፈጠር ለማስተዋወቅ ሌላ ዘዴ ሆነ። ከዲሲ ፕላዝማ በተጨማሪ ሌሎች ሁለት የፕላዝማ ዓይነቶችም ትኩረት አግኝተዋል. የማይክሮዌቭ ፕላዝማ ሲቪዲ የማበረታቻ ድግግሞሽ 2.45 GHz ሲሆን የ RF ፕላዝማ ሲቪዲ ደግሞ 13.56 ሜኸር አነቃቂ ድግግሞሽ አለው። የማይክሮዌቭ ፕላዝማዎች ልዩ ናቸው የማይክሮዌቭ ድግግሞሽ ኤሌክትሮን ንዝረትን ስለሚፈጥር። ኤሌክትሮኖች ከጋዝ አተሞች ወይም ሞለኪውሎች ጋር ሲጋጩ ከፍተኛ የመለያየት መጠን ይፈጠራል። የማይክሮዌቭ ፕላዝማ ብዙውን ጊዜ ከ "ሙቅ" ኤሌክትሮኖች, "ቀዝቃዛ" ions እና ገለልተኛ ቅንጣቶች ጋር እንደ ንጥረ ነገር ይባላል. ቀጭን ፊልም በሚቀመጥበት ጊዜ ማይክሮዌሮች በፕላዝማ የተሻሻለ የሲቪዲ ውህደት ክፍል ውስጥ በመስኮት ውስጥ ይገባሉ. የብርሃን ፕላዝማ በአጠቃላይ ክብ ቅርጽ አለው, እና የሉል መጠኑ በማይክሮዌቭ ኃይል ይጨምራል. የአልማዝ ቀጫጭን ፊልሞች የሚበቅሉት በብርሃን ክልል ጥግ ላይ ባለው ንጣፍ ላይ ነው ፣ እና ንጣፉ ከብርሃን ክልል ጋር በቀጥታ መገናኘት የለበትም።

- ይህ ጽሑፍ የተለቀቀው በየቫኩም ሽፋን ማሽን አምራችጓንግዶንግ ዠንዋ