Magnetron-sputtering optiese inlyn vakuumbedekkingstelsels is 'n gevorderde tegnologie wat gebruik word om dun films op 'n verskeidenheid substrate te deponeer en word algemeen gebruik in nywerhede soos optika, elektronika en materiaalwetenskap. Die volgende is 'n gedetailleerde oorsig:
Komponente en kenmerke:
1. magnetron-sputterbron:
'n Magnetron word gebruik om 'n hoëdigtheid plasma te genereer.
Die teikenmateriaal (bron) word met ione gebombardeer, wat daartoe lei dat atome uitgewerp (gesputter) en op die substraat neergelê word.
Die magnetron kan ontwerp word vir GS-, gepulseerde GS- of RF- (radiofrekwensie) werking, afhangende van die materiaal wat gesputter word.
2. Inlynstelsel:
Die substraat word voortdurend of progressief deur die bedekkingskamer beweeg.
Laat hoë deursetproduksie en eenvormige bedekking van groot areas toe.
Tipies gebruik om glas-, plastiek- of metaalplate in rol-tot-rol- of platbedprosesse te bedek.
3. vakuumkamer:
Handhaaf 'n beheerde laedrukomgewing om sputtering te vergemaklik.
- Voorkom kontaminasie en verseker hoë suiwerheid van neergelegde films.
- Gewoonlik toegerus met laaislotte om blootstelling aan atmosferiese toestande tydens substraatlaai en -aflaai te verminder.
4. optiese bedekkingsvermoëns:
- Spesifiek ontwerp om optiese bedekkings soos anti-reflektiewe bedekkings, spieëls, filters en straalsplitsers te vervaardig.
- Laat presiese beheer van filmdikte en eenvormigheid toe, wat krities is vir optiese toepassings.
5. prosesbeheerstelsels:
- Gevorderde moniterings- en terugvoerstelsels vir die beheer van parameters soos krag, druk en substraatspoed.
- Diagnostiek op die perseel vir die meting van filmeienskappe tydens afsetting om kwaliteit en konsekwentheid te verseker.
Toepassings:
1. Optika:
- Bedekking van lense, spieëls en ander optiese komponente om werkverrigting te verbeter.
- Vervaardig meerlaagse bedekkings vir interferensiefilters en ander komplekse optiese toestelle.
2. Elektronika:
- Dunfilmtransistors, sensors en ander elektroniese toestelle.
- Deursigtige geleidende bedekkings vir skerms en raakskerms. 3.
3. sonpanele:
- Anti-reflektiewe en geleidende bedekkings vir verbeterde doeltreffendheid.
- Ingekapselde lae vir duursaamheid.
4. dekoratiewe bedekkings:
- Bedekking van juweliersware, horlosies en ander items vir estetiese doeleindes.
Voordele:
1. Hoë Presisie:
- Verskaf 'n eenvormige en herhaalbare laag met presiese beheer van dikte en samestelling. 2.
2. Skaalbaarheid:
- Geskik vir kleinskaalse navorsing en grootskaalse industriële produksie. 3.
3. Veelsydigheid:
- Deponeer 'n wye verskeidenheid materiale, insluitend metale, oksiede, nitrides en saamgestelde verbindings.
4. Doeltreffendheid:
- Inlynstelsels maak voorsiening vir deurlopende verwerking, wat stilstandtyd verminder en deurset verhoog.
Plasingstyd: 29 Junie 2024