Àwọn Kókó Pàtàkì ti Ìṣàkóso Òtútù Nínú Àwọn Ìlànà Ìbòmọ́lẹ̀ Afẹ́fẹ́ — Pàtàkì Pàtàkì fún Ìdúróṣinṣin Ìlànà

1. Kí ló dé tí ìwọ̀n otútù fi jẹ́ pàtàkì nínú ìbòrí afẹ́fẹ́

Nínú àwọn ìlànà ìbòrí afẹ́fẹ́ (PVD/CVD), ìwọ̀n otútù kìí ṣe oníyípadà tí ó dúró fúnrarẹ̀ ṣùgbọ́n ó jẹ́ pàrámítà pàtàkì tí ó ń ṣàkóso ipò ìṣàlẹ̀, àwọn ìlànà ìdàgbàsókè fíìmù, àti ìṣẹ̀dá ìṣètò ojú.
Iwọn otutu ilẹ ni ipa taara lori:

Ìṣíkiri ojú ilẹ̀ àwọn átọ̀mù tí a fi pamọ́

Ìwọ̀n fíìmù àti ìṣètò kékeré

Awọn ipele wahala ti o ku ninu ibora naa

Agbara adhesion laarin fiimu ati sobusitireti

Nínú àwọn ohun èlò bíi àwọn ìbòrí opitika, àwọn ohun èlò inú àti òde ọkọ̀, àti àwọn ìbòrí iṣẹ́, ìṣàkóso ìwọ̀n otútù tí kò tọ́ sábà máa ń jẹ́ ohun tó ń fa àdánù èso àti ìyàtọ̀ iṣẹ́.

2. Ipa taara ti iwọn otutu lori ihuwasi idagbasoke fiimu
2.1 Ìṣípo Atomic àti Ìwọ̀n Fíìmù

Nígbà tí a bá ń gbé e kalẹ̀, ìwọ̀n otútù substrate yóò pinnu bóyá àwọn átọ̀mù tí ó dé lè fara hàn tó láti fi kún ojú ilẹ̀.
Ni awọn iwọn otutu ti o kere pupọ:

Ìṣíkiri átọ́míìkì ní ààlà

Àwọn fíìmù máa ń fi àwọn ohun èlò tó ní ihò tàbí tó ní ọ̀wọ̀n hàn

Agbara ati resistance ayika ni a bajẹ

Ni awọn iwọn otutu to dara julọ:

Àwọn átọ̀mù máa ń rìn lórí ilẹ̀ dáadáa

Àwọn fíìmù náà di dídì àti dídì

Awọn ohun-ini opitika ati ẹrọ ti dara si ni pataki

2.2 Wahala Fiimu ati Ewu Iyipada Substrate

Àìbalẹ̀ fíìmù máa ń jẹyọ ní pàtàkì láti inú:

Àìlera ooru

Àìlera ìdàgbàsókè inú

Awọn iyipada iwọn otutu nla tabi awọn itesiwọn le ja si:

Fífì fíìmù

Oju-iwe ogun substrate

Ìfaramọ́ra tí ó dínkù

Èyí ṣe pàtàkì gan-an fún àwọn ohun èlò dígí onípele ńlá àti àwọn èròjà pólímà onípele tín-tín.

2.3 Àwọn Ààlà Ooru Ilẹ̀ àti Àwọn Ìdènà Fèrèsé Ìlànà

Awọn ipilẹ oriṣiriṣi ni awọn ifarada ooru ti o yatọ pupọ:

Àwọn ohun èlò dígí àti irin ní àwọn fèrèsé tí ó gbòòrò tí ó sì ní ìwọ̀n otútù tó gbòòrò

Àwọn ohun èlò ìṣàlẹ̀ pólímà (PC, ABS, PMMA) ní ààlà ooru tóóró

Àìṣàkóso iwọn otutu lè fa:

Àyípadà ooru

Ìwọ̀n ìdààmú ojú ilẹ̀

Awọn ikuna akojọpọ isalẹ

3. Àwọn Ohun Tó Wà Nínú Ìṣòro Oòrùn Nígbà Tí A Bá Ń Fi Ibò Mọ́
3.1 Ẹ̀rù gbígbóná tí a ń fà nípasẹ̀ Plasma àti Agbára Sputtering

Nínú ìfọ́ magnetron, agbára gíga ń mú kí iwọ̀n otútù ojú ilẹ̀ tó wà nínú ilẹ̀ pọ̀ sí i ní pàtàkì. Láìsí ìfọ́ ooru tó pọ̀ tó, ìgbóná ara lè gbóná sí i ní àgbègbè.

3.2 Pínpín Ìwọ̀n Òtútù Tí Kò Dára Nítorí Apẹrẹ Ìgbéga

Ìwọ̀n ìwúwo, ìwọ̀n, àti ìṣètò àwọn ohun èlò ìṣiṣẹ́ ní ipa taara lórí:

Gbigbe ooru itankalẹ

Pínpín pilasima

Irẹpọ iwọn otutu

3.3 Ìdáhùn Díẹ̀díẹ̀ sí Àwọn Ètò Ìtútù àti Ìṣàkóso Òtútù

Apẹrẹ Circuit itutu ti ko tọ tabi idahun iṣakoso iwọn otutu ti o lọra mu ki eewu ti o pọju ooru ati iduroṣinṣin ilana pọ si.

4. Àwọn Ọgbọ́n Ìmọ̀-ẹ̀rọ fún Ìṣàkóso Òtútù Tó Múnádóko
4.1 Àbójútó Òtútù Àyíká Tí Ó Péye

Àwọn ètò ìṣàyẹ̀wò iwọn otutu àti ìdáhùn sí àwọn ibi púpọ̀ ń fúnni ní ìwọ̀n otutu gidi ní àkókò gidi ti iwọn otutu substrate, dípò gbígbáralé iwọn otutu yàrá nìkan.

4.2 Ìṣọ̀kan Líle-Lípù Láàárín Agbára àti Ìwọ̀n Òtútù

Ṣíṣe àfikún agbára sputtering, àwọn pàrámítà orísun ion, àti ìṣàkóso ìwọ̀n otutu ń jẹ́ kí ìwọ̀n ìfipamọ́ àti ẹrù ooru jẹ́ ìwọ̀n ìyípadà.

4.3 Ìṣàkóso Ooru Tí A Ṣe Àtúnṣe sí Àwọn Ohun Èlò àti Àwọn Ohun Èlò Tí A Ń Gbé Kalẹ̀

Àwọn ohun èlò ìgbóná ooru gíga àti àpẹẹrẹ agbègbè ìfọwọ́kàn tí a ṣe àtúnṣe mú kí agbára ìgbóná ooru pọ̀ sí i, ó sì dín àwọn ibi gbígbóná tí ó wà ní àdúgbò kù.

4.4 Àwọn Ọgbọ́n Ìfipamọ́ àti Ìfipamọ́ Ìgbóná Tí A Pín Sí Pínpín

Ifipamọ́ ìgbésẹ̀ púpọ̀, lílo agbára, àti ìtútù àárín gbùngbùn ń dín agbára ìgbóná tí ó ń pọ̀ kù dáadáa.

5. Ìparí

Ìṣàkóso iwọn otutu kìí ṣe ètò ohun èlò kan ṣoṣo, ṣùgbọ́n ẹ̀ka ìmọ̀ ẹ̀rọ ìpele ètò kan tí ó gba àgbékalẹ̀ ìlànà, ìgbékalẹ̀ ohun èlò, àti ìṣàkóso adaṣiṣẹ.
Nínú àwọn ohun èlò tí ó ń béèrè fún ìdúróṣinṣin gíga àti ìgbẹ́kẹ̀lé, ìdúróṣinṣin, ìṣàkóso, àti ìṣàkóso ìwọ̀n otutu tí a lè tún ṣe ti di àmì pàtàkì ti ìdàgbàsókè ilana ìbòrí ìgbàlódé àti agbára ohun èlò.

–Atẹ̀jáde àpilẹ̀kọ yìí ni a tẹ̀ jáde láti ọwọ́ ẹrọ ti a fi bo igbale olupese Zhenhua Vacuum