රික්තක ආලේපන ක්‍රියාවලීන්හි උෂ්ණත්ව පාලනයේ ප්‍රධාන අංග - ක්‍රියාවලි ස්ථායිතාව සඳහා මූලික පරාමිතියකි

1. රික්තක ආලේපනයේදී උෂ්ණත්වය තීරණාත්මක පරාමිතියක් වන්නේ ඇයි?

රික්ත ආලේපන ක්‍රියාවලීන්හිදී (PVD / CVD), උෂ්ණත්වය ස්වාධීන විචල්‍යයක් නොව උපස්ථර තත්ත්වය, පටල වර්ධන යාන්ත්‍රණ සහ අතුරු මුහුණත ව්‍යුහය ගොඩනැගීම පාලනය කරන මූලික පරාමිතියකි.
උපස්ථර උෂ්ණත්වය සෘජුවම බලපායි:

තැන්පත් කරන ලද පරමාණුවල මතුපිට සංචලතාව

පටල ඝනත්වය සහ ක්ෂුද්‍ර ව්‍යුහය

ආලේපනය තුළ අවශේෂ ආතති මට්ටම්

පටලය සහ උපස්ථරය අතර ඇලවුම් ශක්තිය

දෘශ්‍ය ආලේපන, මෝටර් රථ අභ්‍යන්තර සහ බාහිර සංරචක සහ ක්‍රියාකාරී ආලේපන වැනි යෙදීම් වලදී, නුසුදුසු උෂ්ණත්ව පාලනය බොහෝ විට අස්වැන්න අහිමි වීමට සහ කාර්ය සාධන විචල්‍යතාවයට මූලික හේතුවකි.

2. චිත්‍රපට වර්ධන හැසිරීමට උෂ්ණත්වයේ සෘජු බලපෑම
2.1 පරමාණුක සංචලනය සහ පටල ඝනත්වය

තැන්පත් වීමේදී, පැමිණෙන පරමාණුවලට ප්‍රමාණවත් මතුපිට විසරණයකට භාජනය විය හැකිද යන්න උපස්ථර උෂ්ණත්වය තීරණය කරයි.
ඉතා අඩු උෂ්ණත්වවලදී:

පරමාණුක සංචලනය සීමිතයි

චිත්‍රපට සිදුරු සහිත හෝ තීරු ව්‍යුහයන් ප්‍රදර්ශනය කරයි.

කල්පැවැත්ම සහ පාරිසරික ප්‍රතිරෝධය අවදානමට ලක්ව ඇත.

ප්‍රශස්ත උෂ්ණත්වවලදී:

පරමාණු ප්‍රමාණවත් මතුපිට සංචලතාව ලබා ගනී.

පටල ඝන සහ ඒකාකාර වේ.

දෘශ්‍ය හා යාන්ත්‍රික ගුණාංග සැලකිය යුතු ලෙස වැඩිදියුණු වී ඇත

2.2 චිත්‍රපට ආතතිය සහ උපස්ථර විරූපණ අවදානම

චිත්‍රපට ආතතිය ප්‍රධාන වශයෙන් පැන නගින්නේ:

තාප ආතතිය

අභ්‍යන්තර වර්ධන ආතතිය

විශාල උෂ්ණත්ව උච්චාවචනයන් හෝ අනුක්‍රමණයන් හේතු විය හැක:

චිත්‍රපට ඉරිතැලීම

උපස්ථර යුධ පිටුව

අඩු වූ ඇලවීම

විශාල ප්‍රදේශයක වීදුරු උපස්ථර සහ තුනී බිත්ති සහිත පොලිමර් සංරචක සඳහා මෙය විශේෂයෙන් වැදගත් වේ.

2.3 උපස්ථර තාප සීමාවන් සහ ක්‍රියාවලි කවුළු සීමාවන්

විවිධ උපස්ථරවලට සැලකිය යුතු ලෙස වෙනස් තාප ඉවසීම් ඇත:

වීදුරු සහ ලෝහ උපස්ථර පුළුල් උෂ්ණත්ව කවුළු ලබා දෙයි.

පොලිමර් උපස්ථර (PC, ABS, PMMA) පටු තාප ආන්තික ඇත.

උෂ්ණත්ව පාලනය වැරදි ලෙස සිදුවුවහොත්, පහත සඳහන් ගැටළු ඇතිවිය හැකිය:

තාප විරූපණය

මතුපිට ආතති සාන්ද්‍රණය

පහළට එකලස් කිරීමේ අසාර්ථකත්වයන්

3. ආලේපනය අතරතුර උෂ්ණත්ව අස්ථාවරත්වයට පොදු හේතු
3.1 ප්ලාස්මා සහ ඉසින බලය මගින් ප්‍රේරණය වන තාප බර

චුම්බක ස්පුටරින් කිරීමේදී, අධික බල ඝනත්වය උපස්ථර මතුපිට උෂ්ණත්වය සැලකිය යුතු ලෙස වැඩි කරයි. ප්‍රමාණවත් තාප විසර්ජනයකින් තොරව, දේශීය අධික උනුසුම් වීමක් සිදුවිය හැකිය.

3.2 පැටවීමේ සැලසුම හේතුවෙන් ඒකාකාර නොවන උෂ්ණත්ව ව්‍යාප්තිය

උපස්ථර පැටවීමේ ඝනත්වය, ප්‍රමාණය සහ සවිකිරීම් වින්‍යාසය සෘජුවම බලපායි:

විකිරණ තාප හුවමාරුව

ප්ලාස්මා ව්‍යාප්තිය

උෂ්ණත්ව ඒකාකාරිත්වය

3.3 සිසිලන සහ උෂ්ණත්ව පාලන පද්ධතිවල ප්‍රමාද වූ ප්‍රතිචාරය

නුසුදුසු සිසිලන පරිපථ නිර්මාණය හෝ මන්දගාමී උෂ්ණත්ව පාලන ප්‍රතිචාරය තාප අතිරික්තය සහ ක්‍රියාවලි අස්ථායිතාවයේ අවදානම වැඩි කරයි.

4. ඵලදායී උෂ්ණත්ව පාලනය සඳහා ඉංජිනේරු උපාය මාර්ග
4.1 නිවැරදි උපස්ථර උෂ්ණත්ව නිරීක්ෂණය

බහු-ලක්ෂ්‍ය උෂ්ණත්ව සංවේදනය සහ ප්‍රතිපෝෂණ පද්ධති මඟින් කුටීර උෂ්ණත්වය මත පමණක් රඳා නොසිට, සත්‍ය උපස්ථර උෂ්ණත්වයේ තත්‍ය කාලීන මිනුම් සපයයි.

4.2 බලය සහ උෂ්ණත්වය අතර සංවෘත-ලූප් සම්බන්ධීකරණය

ස්පුටරින් බලය, අයන ප්‍රභව පරාමිතීන් සහ උෂ්ණත්ව පාලනය ඒකාබද්ධ කිරීම මඟින් තැන්පත් වීමේ අනුපාතය සහ තාප භාරය ගතිකව සමතුලිත කිරීමට හැකියාව ලැබේ.

4.3 සවිකිරීම් සහ වාහකවල ප්‍රශස්ත තාප කළමනාකරණය

ඉහළ තාප සන්නායකතා ද්‍රව්‍ය සහ ප්‍රශස්ත සම්බන්ධතා ප්‍රදේශ සැලසුම තාප හුවමාරු කාර්යක්ෂමතාව වැඩි දියුණු කරන අතර දේශීය උණුසුම් ස්ථාන අවම කරයි.

4.4 කොටස් කරන ලද තැන්පත් කිරීම් සහ තාප බෆරින් උපාය මාර්ග

බහු-පියවර තැන්පත් කිරීම, බල බෑවුම සහ අතරමැදි සිසිලනය මගින් සමුච්චිත තාප බලපෑම් ඵලදායී ලෙස මර්දනය කරයි.

5. නිගමනය

උෂ්ණත්ව පාලනය යනු තනි උපකරණ සැකසුමක් නොව, ක්‍රියාවලි නිර්මාණය, උපකරණ ගෘහ නිර්මාණ ශිල්පය සහ ස්වයංක්‍රීය පාලනය යන අංශ ආවරණය වන පද්ධති මට්ටමේ ඉංජිනේරු විෂයයකි.
ඉහළ අනුකූලතාවයක් සහ විශ්වසනීයත්වයක් ඉල්ලා සිටින යෙදුම්වලදී, ස්ථාවර, පාලනය කළ හැකි සහ පුනරාවර්තනය කළ හැකි උෂ්ණත්ව කළමනාකරණය රික්ත ආලේපන ක්‍රියාවලි පරිණතභාවය සහ උපකරණ හැකියාව පිළිබඳ ප්‍රධාන දර්ශකයක් බවට පත්ව ඇත.

–මෙම ලිපිය ප්‍රකාශයට පත් කරන ලද්දේ රික්ත ආලේපන උපකරණ නිෂ්පාදක ෂෙන්හුවා වැකුම් ක්ලීනර්