1. Çima Germahî Parametreyek Krîtîk e di Boyaxkirina Valahîyê de
Di pêvajoyên pêçandina valahiyê (PVD / CVD) de, germahî ne guherbarek serbixwe ye lê parametreyek bingehîn e ku rewşa substratê, mekanîzmayên mezinbûna fîlmê, û avakirina avahiya navrûyî kontrol dike.
Germahiya substratê rasterast bandorê li van dike:
Tevgera rûyê atomên razandî
Tîrbûna fîlmê û mîkroavahî
Asta stresê ya mayî di nav pêçanê de
Hêza zeliqandinê di navbera fîlm û substratê de
Di sepanên wekî pêçandina optîkî, pêkhateyên hundir û derveyî yên otomobîlan, û pêçandina fonksiyonel de, kontrola germahiyê ya nerast pir caran sedemek bingehîn a windabûna berhemê û guherbariya performansê ye.
2. Bandora Rasterast a Germahîyê li ser Reftara Mezinbûna Fîlmê
2.1 Livîna Atomî û Tîrbûna Fîlmê
Di dema danînê de, germahiya substratê diyar dike ka atomên hatinî dikarin belavbûna rûberî ya têrker derbas bikin an na.
Di germahiyên pir kêm de:
Tevgera atomî bi sînor e
Fîlm avahiyên poroz an stûnî nîşan didin.
Berxwedanî û berxwedana jîngehê tê xirabkirin
Di germahiyên çêtirîn de:
Atom tevgera rûberî ya têrker bi dest dixin
Fîlm stûr û yekreng dibin.
Taybetmendiyên optîkî û mekanîkî bi girîngî çêtir dibin
2.2 Stresa Fîlmê û Rîska Deformasyona Bingehê
Stresa fîlmê bi giranî ji ber van sedeman çêdibe:
Stresa germî
Stresa mezinbûna hundirîn
Guhertin an guheztinên mezin ên germahiyê dikarin bibin sedema: +
Şikestina fîlmê
Warpage-a substratê
Pêvedana kêmkirî
Ev bi taybetî ji bo substratên cama yên rûbera mezin û pêkhateyên polîmer ên dîwar-tenik girîng e.
2.3 Sînorên Germahî yên Bingehê û Sînorkirinên Pencereya Pêvajoyê
Bingehên cûda toleransên germî yên bi girîngî cuda hene:
Bingehên cam û metalî pencereyên germahiyê yên fireh pêşkêş dikin
Bingehên polîmer (PC, ABS, PMMA) xwedî marjînalên germî yên teng in.
Rêzgirtina nerast a germahiyê dikare bibe sedema:
Deformasyona germî
Kombûna stresa rûberî
Têkçûnên komkirina jêrîn
3. Sedemên hevpar ên bêîstîqrariya germahiyê di dema pêçandinê de
3.1 Barê Germahîyê ya Ji Hêla Plazma û Hêza Sputterkirinê Çêdibe
Di sputterkirina magnetronê de, dendika hêza bilind germahiya rûyê substratê bi girîngî zêde dike. Bêyî belavbûna germê ya têr, dibe ku germbûna herêmî çêbibe.
3.2 Belavkirina Germahiya Neyeksan Ji Ber Sêwirana Barkirinê
Tîrbûna barkirina substratê, mezinahî, û konfigurasyona amûrê rasterast bandorê li ser dike:
Veguhestina germahiya tîrêjê
Belavbûna plazmayê
Yekrengiya germahiyê
3.3 Bersiva Derengmayî ya Sîstemên Sarkirin û Kontrolkirina Germahîyê
Sêwirana çerxa sarkirinê ya nerast an bersiva hêdî ya kontrola germahiyê xetera zêdebûna germî û bêîstîqrariya pêvajoyê zêde dike.
4. Stratejiyên Endezyariyê ji bo Kontrolkirina Germahiya Bi Bandor
4.1 Çavdêriya Rast a Germahiya Substratê
Sîstemên hesaskirina germahiyê yên pir-xalî û bersivê pîvandina rast-dem a germahiya rastîn a substratê peyda dikin, li şûna ku tenê bi germahiya odeyê ve girêdayî bin.
4.2 Koordînasyona Çerxa Girtî di Navbera Hêz û Germahiyê de
Yekkirina hêza sputterkirinê, parametreyên çavkaniya îyonê, û kontrola germahiyê hevsengiya dînamîk a rêjeya depokirinê û barê germî gengaz dike.
4.3 Rêvebiriya Germahî ya Çêtirkirî ya Amûr û Hilgiran
Materyalên xwedî guhêrbariya germî ya bilind û sêwirana qada têkiliyê ya çêtirînkirî karîgeriya veguhestina germê zêde dikin û xalên germ ên herêmî kêm dikin.
4.4 Stratejiyên Depozîsyona Segmentkirî û Tamponkirina Germahî
Depokirina pir-gavî, zêdekirina hêzê, û sarkirina navîn bi bandor bandorên germî yên berhevkirî tepeser dikin.
5. Encam
Kontrola germahiyê ne mîhengê yekane yê alavê ye, lê dîsîplînek endezyariyê ya asta pergalê ye ku sêwirana pêvajoyê, mîmariya alavan, û kontrola otomasyonê vedihewîne.
Di sepanên ku yekrengî û pêbaweriya bilind dixwazin de, rêveberiya germahiyê ya stabîl, kontrolkirî û dubarekirî bûye nîşaneyek sereke ya gihîştina pêvajoya boyaxkirina valahiyê û kapasîteya alavan.
- Ev gotar ji hêla alavên boyaxkirina valahiyê hilberîner Zhenhua Vacuum
Dema şandinê: 20ê Kanûna Pêşîn a 2025an