Cov Ntsiab Lus Tseem Ceeb ntawm Kev Tswj Kub hauv Cov Txheej Txheem Txheej Txheem Nqus Tsev - Ib qho Txheej Txheem Tseem Ceeb rau Kev Ruaj Ntseg ntawm Cov Txheej Txheem

1. Vim li cas qhov kub thiab txias yog qhov tseem ceeb hauv kev txheej tshuab nqus tsev

Hauv cov txheej txheem nqus tsev (PVD / CVD), qhov kub thiab txias tsis yog ib qho hloov pauv uas sawv cev tab sis yog ib qho tseem ceeb uas tswj hwm cov xwm txheej ntawm cov khoom siv, cov txheej txheem loj hlob ntawm zaj duab xis, thiab kev tsim cov qauv sib txuas.
Qhov kub ntawm cov substrate ncaj qha cuam tshuam rau:

Kev txav mus los ntawm qhov chaw ntawm cov atoms tso tawm

Zaj duab xis ceev thiab microstructure

Cov theem kev ntxhov siab seem hauv cov txheej txheej

Lub zog nplaum ntawm zaj duab xis thiab substrate

Hauv cov ntawv thov xws li cov tshuaj pleev xim kho qhov muag, cov khoom siv sab hauv thiab sab nraud ntawm lub tsheb, thiab cov tshuaj pleev xim ua haujlwm, kev tswj qhov kub tsis raug feem ntau yog qhov ua rau poob qis thiab kev ua haujlwm hloov pauv.

2. Kev Cuam Tshuam Ncaj Qha ntawm Qhov Kub rau Kev Loj Hlob ntawm Zaj Duab Xis
2.1 Kev txav mus los ntawm Atomic thiab Kev Nthuav Dav ntawm Zaj Duab Xis

Thaum lub sijhawm tso dej tawm, qhov kub ntawm cov substrate txiav txim siab seb cov atoms tuaj txog puas tuaj yeem hla dhau qhov chaw txaus.
Thaum kub dhau heev:

Kev txav mus los ntawm atomic yog txwv

Cov yeeb yaj kiab qhia txog cov qauv porous lossis columnar

Kev ruaj khov thiab kev tiv thaiv ib puag ncig raug cuam tshuam

Thaum kub zoo tshaj plaws:

Cov atoms tau txais kev txav mus los ntawm saum npoo av txaus

Cov yeeb yaj kiab ua rau tuab thiab sib xws

Cov khoom siv kho qhov muag thiab cov khoom siv kho tshuab tau zoo dua qub

2.2 Kev Nyuaj Siab ntawm Zaj Duab Xis thiab Kev Pheej Hmoo ntawm Kev Hloov Pauv ntawm Cov Khoom Siv

Kev ntxhov siab ntawm zaj duab xis feem ntau yog los ntawm:

Kev ntxhov siab thermal

Kev ntxhov siab ntawm kev loj hlob sab hauv

Kev hloov pauv loj ntawm qhov kub thiab txias lossis kev hloov pauv loj tuaj yeem ua rau:

Zaj duab xis tawg

Kev tawg ntawm cov khoom siv

Txo qhov adhesion

Qhov no yog qhov tseem ceeb heev rau cov iav loj thiab cov khoom siv polymer nyias-phab ntsa.

2.3 Cov Kev Txwv Kub ntawm Cov Khoom Siv thiab Cov Kev Txwv ntawm Cov Qhov Rai Txheej Txheem

Cov substrates sib txawv muaj qhov sib txawv ntawm kev ua kom sov:

Cov iav thiab cov hlau substrates muab cov qhov rais kub dav dav

Cov khoom siv polymer (PC, ABS, PMMA) muaj cov npoo thermal nqaim

Kev tswj qhov kub tsis zoo yuav ua rau:

Kev hloov pauv ntawm thermal

Kev ntxhov siab ntawm qhov chaw

Kev ua tsis tiav ntawm kev sib dhos hauv qab

3. Cov Ua Rau Kub Tsis Ruaj Khoov Thaum Lub Sijhawm Txheej
3.1 Lub zog thermal uas Plasma thiab Sputtering Power ua rau

Hauv magnetron sputtering, lub zog ceev ceev ua rau qhov kub ntawm qhov chaw substrate nce siab heev. Yog tsis muaj cua sov txaus, qhov kub hnyiab hauv zos yuav tshwm sim.

3.2 Kev Faib Kub Tsis Sib Xws Vim Yog Tsim Kev Thauj Khoom

Qhov ntom ntawm cov khoom siv, qhov loj me, thiab kev teeb tsa ntawm cov khoom siv cuam tshuam ncaj qha rau:

Kev hloov pauv cua sov

Kev faib tawm ntawm cov ntshav

Kev sib npaug ntawm qhov kub thiab txias

3.3 Kev Teb qeeb ntawm Cov Tshuab Txias thiab Tswj Kub

Kev tsim lub voj voog txias tsis raug lossis kev tswj qhov kub qeeb ua rau muaj kev pheej hmoo ntawm kev kub dhau thiab kev tsis ruaj khov ntawm cov txheej txheem.

4. Cov Tswv Yim Tsim Kho Kom Tswj Tau Qhov Kub Zoo
4.1 Kev Soj Ntsuam Kub ntawm Cov Khoom Siv Kom Tseeb

Cov txheej txheem ntsuas kub thiab cov lus teb rov qab ntau lub ntsiab lus muab kev ntsuas kub tiag tiag ntawm cov khoom siv hauv pem teb, es tsis yog tsuas yog cia siab rau qhov kub ntawm chav tsev xwb.

4.2 Kev Sib Koom Tes Kaw-Loop Ntawm Lub Hwj Chim thiab Kub

Kev koom ua ke ntawm lub zog sputtering, cov kev teeb tsa ion, thiab kev tswj qhov kub ua rau muaj kev sib npaug ntawm cov nqi tso tawm thiab cov khoom siv thermal.

4.3 Kev Tswj Xyuas Thermal Zoo Tshaj Plaws ntawm Cov Khoom Siv thiab Cov Neeg Nqa Khoom

Cov ntaub ntawv thermal conductivity siab thiab qhov chaw sib cuag zoo tshaj plaws txhim kho kev hloov pauv cua sov thiab txo cov chaw kub hauv zos.

4.4 Kev Tso Tawm Segmented thiab Thermal Buffering Strategies

Kev tso dej ntau kauj ruam, kev nce zog, thiab kev txias nruab nrab ua rau cov teebmeem thermal tsis zoo.

5. Xaus Lus

Kev tswj qhov kub thiab txias tsis yog ib qho chaw teeb tsa khoom siv xwb, tab sis yog ib qho kev qhuab qhia txog kev tsim kho tshuab uas suav nrog kev tsim cov txheej txheem, kev tsim kho khoom siv, thiab kev tswj hwm kev ua haujlwm tsis siv neeg.
Hauv cov ntawv thov uas xav tau kev sib xws thiab kev ntseeg siab, kev tswj qhov kub thiab txias ruaj khov, tswj tau, thiab rov ua dua tau dhau los ua qhov cim tseem ceeb ntawm kev loj hlob ntawm cov txheej txheem nqus tsev thiab lub peev xwm ntawm cov khoom siv.

– Tsab xov xwm no tau luam tawm los ntawm cov khoom siv nqus tsev txheej Chaw tsim khoom Zhenhua Lub Tshuab Nqus Tsev