Zvinhu Zvikuru Pakudzora Kupisa Mumaitiro Ekuvhara Vacuum — Chikamu Chinokosha Chekugadzikana Kwemaitiro

1. Nei Tembiricha Iri Chikamu Chinokosha Mukuvhara Vacuum

Mumaitiro ekuputira vacuum (PVD / CVD), tembiricha haisi chinhu chinongoerekana chavapo asi chinhu chikuru chinodzora mamiriro esubstrate, nzira dzekukura kwefirimu, uye kuumbwa kwechimiro chemukati mefacial.
Kupisa kwe substrate kunokanganisa zvakananga:

Kufamba pamusoro pemaatomu akachengetwa

Kuwanda kwemafirimu uye microstructure

Mazinga ekushushikana akasara mukati mekuputira

Simba rekunamatira pakati pefirimu ne substrate

Mukushandiswa kwakadai sekuputira kwemaziso, zvikamu zvemukati nekunze kwemotokari, uye kuputira kunoshanda, kudzora tembiricha zvisina kunaka kazhinji ndicho chikonzero chikuru chekurasikirwa kwegoho uye kusiyana kwekushanda.

2. Kukanganisa Kwakananga Kwekupisa Pakukura Kwemafirimu
2.1 Kufamba kweAtomu uye Kuwanda kweMafirimu

Panguva yekuiswa kwechinhu, tembiricha ye substrate ndiyo inosarudza kana maatomu anosvika anogona kupararira zvakakwana pamusoro.
Pakupisa kwakaderera zvakanyanya:

Kufamba kweatomu kune muganhu

Mafirimu anoratidza zvivako zvine maburi kana kuti makoramu

Kugara kwenguva refu uye kuramba zvakatipoteredza zviri kukanganiswa

Pakupisa kwakakodzera:

Maatomu anowana kufamba kwakakwana pamusoro

Mafirimu anova akaomarara uye akafanana

Hunhu hwemaziso nehwemakanika hwavandudzika zvakanyanya

2.2 Njodzi yeKushushikana kweFirimu uye Kushanduka kweSubstrate

Kushushikana kwemafirimu kunonyanya kukonzerwa ne:

Kushushikana kwekupisa

Kushushikana kwekukura kwemukati

Kuchinja-chinja kukuru kwekushisa kana ma gradients kunogona kutungamira ku:

Kutsemuka kwemafirimu

Substrate warpage

Kuderedza kunamira

Izvi zvinonyanya kukosha kune magirazi epasi pevhu akakura uye zvikamu zvepolymer zvemadziro matete.

2.3 Miganhu yekupisa yeSubstrate uye Zvipingamupinyi zveMawindo eMaitiro

Ma substrates akasiyana ane kushivirira kwakasiyana kwazvo kwekupisa:

Magirazi nesimbi zvinopa mahwindo anodziya zvakanyanya

Zvishandiso zvepolymer (PC, ABS, PMMA) zvine mipendero midiki yekupisa

Kusagona kudzora tembiricha kunogona kukonzera:

Kuchinja kwekupisa

Kushushikana kwepamusoro

Kukundikana kwekubatanidza pasi pemvura

3. Zvikonzero Zvinowanzoita Kuti Kusagadzikana Kwetembiricha Panguva Yekuputira
3.1 Mutoro wekupisa unokonzerwa nePlasma neSimba reSputtering

Mukushandiswa kwemagnetron sputtering, kuwanda kwesimba repamusoro kunowedzera zvakanyanya tembiricha yepamusoro pevhu. Kana pasina kupisa kwakakwana, kupisa kwakanyanya kunogona kuitika.

3.2 Kuparadzirwa kweTembiricha Isina Kuenzana Nekuda Kwekugadzirwa Kwekurodha

Kuwanda kwe substrate loading, saizi, uye magadzirirwo emidziyo zvinokanganisa zvakananga:

Kutamiswa kwekupisa kwemwaranzi

Kugoverwa kweplasma

Kufanana kwekupisa

3.3 Kunonoka Kupindura kweMasisitimu Ekutonhodza neKudzora Tembiricha

Kusagadzirwa zvakanaka kwedunhu rekutonhodza kana kudzorwa kwekupisa kunononoka kunowedzera njodzi yekupisa kwakanyanya uye kusagadzikana kwemaitiro.

4. Maitiro Einjiniya Ekugadzirisa Kupisa Zvinobudirira
4.1 Kutarisa Tembiricha Yakarurama yeSubstrate

Masisitimu ekuona tembiricha akawanda uye ekupa mhinduro anopa kuyerwa kwetembiricha chaiyo ye substrate panguva chaiyo, pane kungovimba chete netembiricha yemukamuri.

4.2 Kurongeka Kwakavharika Pakati Pesimba Nekupisa

Kubatanidza simba rekuspotera, ma ion source parameters, uye kudzora tembiricha kunogonesa kuenzana kwehuwandu hwekuisa zvinhu uye mutoro wekupisa.

4.3 Kugadziriswa Kwakanaka Kwekudzora Kupisa Kwezvishandiso Nezvinotakura

Zvinhu zvinofambisa kupisa zvakanyanya uye dhizaini yepamusoro yenzvimbo yekubata zvinovandudza mashandiro ekutamisa kupisa uye zvinoderedza nzvimbo dzinopisa dzemunharaunda.

4.4 Nzira dzeKuisa Zvinhu Zvakakamurwa uye Kugadzirisa Kupisa

Kuisa zvinhu zvakawanda, kuwedzera simba, uye kutonhora kwepakati zvinodzivirira kupisa kwakawanda.

5. Mhedziso

Kudzora tembiricha hakusi kurongeka kwemuchina mumwe chete, asi inyanzvi yeinjiniya yedanho rehurongwa inosanganisira dhizaini yemaitiro, dhizaini yemuchina, uye kudzora otomatiki.
Mukushandiswa kunoda kugara kwakasimba uye kuvimbika, kutarisirwa kwekupisa kwakasimba, kunodzokororwa, uye kunodzokororwa kwave chiratidzo chikuru chekushanda kwevacuum coating uye kugona kwemidziyo.

–Chinyorwa ichi chakabudiswa na midziyo yekunamira ye vacuum mugadziri Zhenhua Vacuum