۱. ولې تودوخه د ویکیوم کوټینګ کې یو مهم پیرامیټر دی؟
د ویکیوم کوټینګ پروسو (PVD / CVD) کې، تودوخه یو خپلواک متغیر نه دی بلکې یو بنسټیز پیرامیټر دی چې د سبسټریټ حالت، د فلم ودې میکانیزمونه، او د مخ جوړښت جوړښت اداره کوي.
د سبسټریټ تودوخه مستقیم تاثیر کوي:
د زیرمه شوي اتومونو سطحي تحرک
د فلم کثافت او مایکرو جوړښت
د پوښښ دننه د پاتې فشار کچه
د فلم او سبسټریټ ترمنځ د چپکولو ځواک
په هغو غوښتنلیکونو کې لکه آپټیکل کوټینګونه، د موټرو داخلي او بهرني اجزا، او فعال کوټینګونه، د تودوخې ناسم کنټرول اکثرا د حاصلاتو د ضایع کیدو او د فعالیت د بدلون اصلي لامل وي.
۲. د فلم د ودې چلند باندې د تودوخې مستقیم اغیز
۲.۱ د اټومي خوځښت او د فلم کثافت
د زیرمه کولو په جریان کې، د سبسټریټ تودوخه دا ټاکي چې ایا رسیدونکي اتومونه کولی شي د سطحې کافي خپریدو څخه تیر شي.
په ډیره ټیټه تودوخه کې:
د اټومي خوځښت محدود دی
فلمونه سوري یا ستني جوړښتونه ښیې
پایښت او د چاپیریال مقاومت له خطر سره مخ دي
په غوره تودوخه کې:
اتومونه د سطحې مناسب حرکت ترلاسه کوي
فلمونه غليظ او يوشان کېږي
نظري او میخانیکي ملکیتونه د پام وړ ښه شوي دي
۲.۲ د فلم فشار او د سبسټریټ د خرابوالي خطر
د فلم فشار په عمده توګه له دې څخه راپورته کیږي:
د تودوخې فشار
د ودې داخلي فشار
د تودوخې لوی بدلونونه یا تدریجي بدلونونه کولی شي د دې لامل شي:
د فلم درزونه
د سبسټریټ وارپاڼه
کم شوی چپکونکی
دا په ځانګړي ډول د لوی ساحې شیشې سبسټریټونو او پتلي دیوال پولیمر اجزاو لپاره خورا مهم دی.
۲.۳ د سبسټریټ حرارتي محدودیتونه او د پروسې کړکۍ محدودیتونه
مختلف سبسټریټس د تودوخې زغم په څرګند ډول مختلف لري:
د شیشې او فلزاتو سبسټریټ د تودوخې پراخه کړکۍ وړاندې کوي
د پولیمر سبسټریټس (PC، ABS، PMMA) د تودوخې محدودې حاشیې لري
د تودوخې ناسم مدیریت ممکن د دې لامل شي:
د حرارتي خرابوالي
د سطحې فشار غلظت
د ښکته جریان د اسمبلۍ ناکامۍ
۳. د پوښ کولو پرمهال د تودوخې د بې ثباتۍ عام لاملونه
۳.۱ د پلازما او سپټرینګ ځواک لخوا هڅول شوی حرارتي بار
په میګنیټرون سپټرینګ کې، د لوړ بریښنا کثافت د سبسټریټ سطحې تودوخه د پام وړ زیاتوي. د کافي تودوخې له ضایع کیدو پرته، سیمه ایز ډیر تودوخه ممکن واقع شي.
۳.۲ د بارولو ډیزاین له امله د تودوخې غیر یوشان ویش
د سبسټریټ بارولو کثافت، اندازه، او د فکسچر ترتیب مستقیم تاثیر کوي:
د وړانګو تودوخې لیږد
د پلازما ویش
د تودوخې یوشانوالی
۳.۳ د یخولو او تودوخې کنټرول سیسټمونو ځنډنی غبرګون
د یخولو د سرکټ ناسم ډیزاین یا د تودوخې کنټرول ورو غبرګون د تودوخې د زیاتوالي او د پروسې د بې ثباتۍ خطر زیاتوي.
۴. د تودوخې د اغیزمن کنټرول لپاره د انجینرۍ ستراتیژۍ
۴.۱ د سبسټریټ د تودوخې دقیق څارنه
د څو نقطو د تودوخې حس کولو او فیډبیک سیسټمونه د اصلي سبسټریټ تودوخې ریښتیني وخت اندازه کول چمتو کوي، د دې پرځای چې یوازې د خونې تودوخې باندې تکیه وکړي.
۴.۲ د بریښنا او تودوخې ترمنځ تړلې-لوپ همغږي
د سپټرینګ ځواک، د ایون سرچینې پیرامیټرې، او د تودوخې کنټرول یوځای کول د زیرمو نرخ او تودوخې بار متحرک توازن ته اجازه ورکوي.
۴.۳ د فکسچرونو او کیریرونو د تودوخې مدیریت غوره شوی
د لوړ حرارتي چالکتیا مواد او د تماس ساحې مطلوب ډیزاین د تودوخې لیږد موثریت لوړوي او محلي ګرم ځایونه کموي.
۴.۴ د قطع شوي زیرمو او تودوخې بفر کولو ستراتیژیانې
څو مرحلې جمع کول، د بریښنا ریمپ کول، او منځمهاله یخ کول په مؤثره توګه د مجموعي تودوخې اغیزې کموي.
۵. پایله
د تودوخې کنټرول د تجهیزاتو یوازینۍ ترتیب نه دی، بلکې د سیسټم په کچه د انجینرۍ ډسپلین دی چې د پروسې ډیزاین، د تجهیزاتو جوړښت، او اتومات کنټرول پوښي.
په هغو غوښتنلیکونو کې چې لوړ ثبات او اعتبار ته اړتیا لري، باثباته، کنټرول وړ، او تکرار وړ د تودوخې مدیریت د ویکیوم کوټینګ پروسې د بشپړتیا او تجهیزاتو وړتیا یو مهم شاخص ګرځیدلی.
- دا مقاله د لخوا خپره شوې ده د ویکیوم کوټینګ تجهیزات جوړونکی ژنهوا ویکیوم
د پوسټ وخت: دسمبر-۲۰-۲۰۲۵